《表1 其它的模型参数:硅单晶圆片中V-O_2对演变的相场仿真模型》

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《硅单晶圆片中V-O_2对演变的相场仿真模型》


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式中:kb=8.617 343×10-5 eV·K-1;T为低温退火温度(K).其它的模型参数见表1.