《表1 七级IWG滤波器的结构尺寸(单位:mm),波导宽a=4mm》

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《新型集成式波导滤波器的设计》

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本文采用低温共烧陶瓷制作该滤波器，介点常数5.7，厚度188μm，损耗角正切0.002，要求通带35-36GHz，在34-37GHz外能提供50dB的衰减。使用半波导波长的IWG做串联谐振器，且，侧壁使用金属化通孔，级间的耦合通过金属化凹槽或金属化通孔形成的并联电感实现，它们的作用相当于K变换器，在LTCC工艺中实现K变换器的方法很多，本文采用金属化凹槽实现K变换器。相对金属波导其并联感抗Xj，j+1不变，仍为，折扣K变换器引入的电长度半波导谐振腔的电长度θj为，槽深贯穿介质基片，槽宽取0.2mm，槽两侧打圆角，槽长由0.2mm的钻头沿直线铣出，若定好第一个槽位，剩下的几个槽位（均是折扣后的半波导段的长度）就能确定下来，工艺上比较好实现。最后的尺寸列于表1、图4中，其中Wi表示从右数起第i个槽的长度，而Li表示从右数起第i个IWG的腔长，且Wi=Wn+2-i，Li=Ln+1-i，n表示滤波器的级数（n为奇数）。如果用金属化通孔做侧壁，孔间距d不能过大，否则会引起场的泄漏，也不能过小，必须保证在LTCC工艺的范围内，取d=2.5r，本文同时对比了金属槽和金属通孔做侧壁的效果，发现两种方式的结果基本吻合，如图5所示，通带插损在5dB内，34-37GHz外都达到了50dB的衰减。