《表1 微结构阵列孔径测量数据》

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《导光板模具微结构阵列孔加工与检测研究》

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白光干涉仪下的微结构孔径测量，如图4(a）所示。从X向（水平方向）和Y向（竖直方向）测量的R和M之间的距离就是导光板模具上微结构孔径，如图4(b）所示。测量的X向孔径37.6108μm，测量的Y向孔径37.3020μm，如图4(c）所示。如表1中，从三次测量的结果中可知6个微结构孔（D1-D6）孔径大小，并分别对其求平均值得出微结构孔平均孔径。