《表1 离子源参数表：短中波红外探测系统宽波段高透过率薄膜》

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《短中波红外探测系统宽波段高透过率薄膜》

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图4中可以看出在2.6～3.3μm处，不使用离子束辅助沉积技术制备的MgF2薄膜平均光谱透过率下降4.2%；而使用Ar为离子源反应气体的MgF2薄膜在该波段光谱平均透过率下降仅为1.8%，但同时，受离子源能量轰击的影响，薄膜在沉积过程失去氟原子产生吸收，导致光谱透过率整体下降。为减少失氟引起的吸收，选用O2为离子源反应气体。氧原子可以填补氟的空位，与Mg原子形成新的键结[15-16]，减小由于氟原子缺失引起的光谱吸收，采用O2为离子源反应气体的实验参数设置如表1所示。