《表2 法拉第扫描及线性扫描结果》

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《融石英光学材料离子束抛光去除特性研究》

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完成法拉第扫描试验后，在50 mm熔融石英光学元件上进行线扫描试验，离子束垂直入射光学元件表面。使用干涉仪测量试验后的元件面形获得线扫描数据，经高斯拟合后得到去除函数的测量信息。各组参数的法拉第扫描得到离子束电流密度参数结果和线扫描试验得到的去除函数结果，见表2。