《表3 增加挡板电镀试验结果表》
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以直径101.6 mm的圆硅片为样件，设计加工了一系列不同开口尺寸的挡板，如图2所示。通过调整阳极挡板的开口尺寸及其在镀槽中的位置进行试验，试验结果见表3。
| 图表编号 | XD00100687800 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2019.09.18 |
| 作者 | 刘晓兰、赵飞 |
| 绘制单位 | 石家庄诺通人力资源有限公司、中国电子科技集团公司第五十四研究所、中国电子科技集团公司第五十四研究所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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