《表2 不同温度下烘烤48 h后基体未高温储存时的气体含量》

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《控制可伐4J29封装外壳氢含量的工艺》

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基体指未镀金的可伐外壳。基体中的含氢量不可忽视，镀金会明显抑制氢的逸散[4]。为了排除基体中氢释放造成器件损坏的隐患，首先考察烘烤温度对基体中氢释放的影响，结果见表2。基体未经任何处理时的氢含量约为0.15%，经不同温度烘烤后均小于0.01%。随后考察经不同温度烘烤后再封帽和250°C×48 h高温储存后外壳氢含量的变化，结果见表3。经过250°C×48 h的烘烤释放后，氢含量依旧很高，在0.4%～0.5%之间，远远超出0.1%的限值；而300°C×48 h及350°C×48 h烘烤后，哪怕经过高温储存，基体内腔测得的氢含量也小于0.01%。