《表4 表面粗糙度Ra的信噪比（RSN）效应表》

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《微细流路模压成形用碳化钨模具飞秒激光加工工艺研究》

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实验结果表明，对于不同的指标，由于最佳激光加工参数不同，需要进行综合优化。5水平下各因素的信噪比如图10所示，3个加工参数对表面粗糙度的影响相差极小，因此以加工深度为主要考量因素，取综合影响率最大值，确定最佳工艺参数组合为A5B1C5。即扫描功率为20 W、扫描速度200 mm/s、扫描层数为25时，加工既可以获得较好的表面粗糙度，又可以兼顾加工效率，具有较高的加工深度。由此采用最优的实验加工参数加工微细流路，通过超景深三维显微系统VHX-1000测量得微细流路的三维结构如图11所示，微凸起的上表面宽度为152μm，边缘整齐，通道深度为42.41μm。使用该模具进行玻璃微细流路沟槽模压实验，可得到有清晰纹路的玻璃微细流路沟槽，其表面粗糙度值Ra为0.164μm，如图12所示。