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目录1

第一章 牛顿干涉仪、斐索干涉仪和海丁格干涉仪1

§1.1 牛顿干涉仪1

§1.1.1 光源尺寸的要求8

§1.1.2 几种合适的光源10

§1.1.3 制作平面样板的材料10

§1.1.4 估算最大误差的简单方法11

§1.1.5 牛顿干涉仪的其它用途12

§1.2 斐索干涉仪16

§1.2.1 基本的斐索干涉仪17

§1.2.2 液体基准样板18

§1.2.3 检验近似平行平板19

§1.2.4 用斐索干涉仪检验曲面20

§1.2.5 对光源单色性的要求22

§1.2.6 使用激光作光源的斐索干涉仪23

§1.2.7 多光束斐索干涉仪24

§1.2.8 检验大口径玻璃试样和熔凝石英试样的不均匀性24

§1.2.9 检验三面直角棱镜和直角棱镜25

§1.2.10 检验凹面或凸面28

§1.2.11 准直透镜的质量要求29

§1.3 海丁格干涉仪31

§1.3.1 海丁格干涉仪的应用32

§1.3.2 用激光作海丁格干涉仪的光源32

§1.4 平面样板的绝对检验35

参考文献37

第二章 泰曼-格林干涉仪40

§2.1 引言40

§2.1.1 分光镜42

§2.2 相干性要求43

§2.2.1 空间相干性45

§2.2.2 时间相干性48

§2.3 泰曼-格林干涉仪的应用50

§2.3.1 检验棱镜和衍射光栅51

§2.3.2 检验透镜53

§2.3.3 检验显微物镜55

§2.4 不等程干涉仪56

§2.4.1 几种特殊设计57

§2.5 干涉图的拍摄59

§2.6 典型干涉图及其分析60

§2.6.1 任意波面的干涉图分析65

参考文献67

第三章 共光路干涉仪70

§3.1 引言70

§3.2 使用两块匹配散射板的伯奇干涉仪70

§3.3.1 萨瓦偏光镜73

§3.3 双折射分光镜73

§3.3.2 渥拉斯顿棱镜75

§3.3.3 双焦系统76

§3.4 横向错位干涉仪77

§3.4.1 萨瓦偏光镜的使用77

§3.4.2 渥拉斯顿棱镜的使用79

§3.5 双焦干涉仪81

§3.6 桑德斯棱镜干涉仪83

§3.7 点衍射干涉仪85

§3.8 光学传递函数的测定86

§3.8.1 扫描法86

§3.8.2 自相关法88

参考文献91

第四章 横向错位干涉仪92

§4.1 引言92

§4.2 关于光源相干性的讨论93

§4.3 横向错位干涉计量的理论简介94

§4.3.1 关于初级象差的横向错位研究97

§4.4 未知波面的计算102

§4.5 平行光横向错位干涉仪（白光补偿）105

§4.5.1 以雅满干涉仪为基础的横向错位干涉装置105

§4.5.2 以迈克耳逊干涉仪为基础的横向错位干涉装置107

§4.5.3 以循环干涉仪为基础的横向错位干涉装置108

§4.5.4 以马赫-曾德尔干涉仪为基础的横向错位干涉装置108

§4.6 会聚光横向错位干涉仪（白光补偿）111

§4.6.1 以迈克耳逊干涉仪为基础的横向错位干涉装置111

§4.6.2 以马赫-曾德尔干涉仪为基础的横向错位干涉仪114

§4.7 应用激光器的横向错位干涉仪117

§4.7.1 平行板干涉仪的其它应用120

§4.8 其它类型的横向错位干涉仪123

§4.8.1 基于衍射原理的横向错位干涉仪124

§4.8.2 基于偏振原理的横向错位干涉仪126

参考文献128

第五章 径向错位干涉仪、旋转错位干涉仪、倒转错位130

干涉仪130

§5.1 引言130

§5.2 径向错位干涉仪131

§5.2.1 单光程径向错位干涉仪133

§5.2.2 双光程径向错位干涉仪138

§5.2.3 激光径向错位干涉仪141

§5.3 旋转错位干涉仪144

§5.3.1 光源大小未补偿的旋转错位干涉仪147

§5.3.2 光源大小补偿的旋转错位干涉仪150

§5.4 倒转错位干涉仪150

§5.4.1 几种倒转错位干涉仪152

参考文献155

§6.1 发展简史157

第六章 多光束干涉仪157

§6.2 多光束干涉计量技术的精度160

§6.3 多光束斐索干涉仪163

§6.3.1 干涉条纹的形成条件163

§6.3.2 斐索干涉测量法168

§6.4 等色序条纹171

§6.5 多光束干涉测量技术中如何减小干涉条纹的间隔值174

§6.6 平行平面法布里-珀罗干涉仪175

§6.6.1 薄膜厚度的测量176

§6.6.2 表面平面度偏差176

§6.7 用法布里-珀罗干涉仪产生的托兰斯基干涉条纹181

§6.8 检验曲面用的多光束干涉仪183

§6.9 耦合干涉仪和串联干涉仪184

§6.9.1 耦合干涉仪184

§6.9.2 串联干涉仪186

参考文献187

§6.10 全息多光束干涉仪187

第七章 多通干涉仪192

§7.1 双通干涉仪192

§7.1.1 象差的分离192

§7.1.2 相干条件的简化195

§7.1.3 提高精度的双通干涉仪197

§7.2 多通干涉仪199

参考文献204

第八章 傅科刀口法、细丝法及调相法205

§8.1 引言205

§8.2 傅科检验法和刀口检验法205

§8.2.1 说明205

§8.2.2 几何原理210

§8.2.3 物理原理217

§8.3 细丝检验法224

§8.3.1 几何原理228

§8.3.2 物理原理229

§8.4 普拉兹克-盖维俄拉检验法230

§8.4.1 几何原理232

§8.5 调相检验法234

§8.5.1 泽耐克检验及其与斯马特干涉仪的关系234

§8.5.2 利奥特检验法239

§8.5.3 沃尔特检验法240

§8.6 瑞奇-康芒检验法243

参考文献246

第九章 朗奇检验法250

§9.1 引言250

§9.1.1 发展简史250

§9.2 几何原理251

§9.2.1 初级象差的朗奇图253

§9.2.2 非球面的朗奇图259

§9.2.3 补偿朗奇光栅261

§9.3 波面形状的测定263

§9.3.1 普通情况263

§9.3.2 旋转对称的表面267

§9.4 物理原理269

§9.4.1 数学分析269

§9.4.2 物理原理与几何原理的关系275

§9.5 朗奇检验法的实际应用276

§9.6 其它几种有关的检验280

§9.6.1 同心圆环格栅280

§9.6.2 扫描朗奇检验法280

§9.6.3 边带朗奇检验法281

§9.6.4 洛厄检验法282

参考文献283

§10.1 引言287

第十章 哈特曼检验法及其它光阑检验法287

§10.2 原理289

§10.3 光阑的类型294

§10.3.1 哈特曼径向光阑294

§10.3.2 螺旋式光阑296

§10.3.3 矩形列阵检验法297

§10.4 哈特曼检验装置301

§10.5 数据处理303

§10.6 迈克耳逊检验法和加德纳-贝尼特检验法309

§10.7 小结310

参考文献311

第十一章 星点检验法313

§11.1 小象差的星点检验原理314

§11.1.1 没有象差的艾里图形315

§11.1.2 离焦的艾里图形317

§11.1.3 多色光322

§11.1.4 有中心障碍物的光学系统323

§11.1.5 小象差效应324

§11.2 带有小象差的实际情况326

§11.2.1 期望的效应326

§11.2.2 星点检验的光源328

§11.2.3 星点检验用光学系统的安排330

§11.2.4 显微镜物镜333

§11.2.5 星点检验能否定量334

§11.3 有大象差的星点检验335

§11.3.1 球差335

§11.3.2 纵向色差337

§11.3.3 轴对称性337

§11.3.4 象散337

§11.3.5 畸变337

§11.3.6 非补偿检验法338

参考文献339

第十二章 全息术和莫尔条纹技术341

§12.1 引言341

§12.2 使用实全息图的干涉仪342

§12.2.1 波前存储343

§12.2.2 无损检验344

§12.2.3 全息样板347

§12.3 应用综合全息图的干涉仪349

§12.3.1 基本方法349

§12.3.2 误差原因351

§12.3.3 用计算机全息图得到的结果353

§12.3.4 与普通补偿光学零件结合354

§12.3.5 对计算机全息图检验法前景的预计356

§12.4 双波长干涉测量法357

§12.4.1 基本技术357

§12.4.2 检验毛玻璃表面360

§12.4.3 电子探测技术361

§12.5 莫尔干涉测量法362

§12.5.1 基本原理363

§12.5.2 实验装置363

§12.5.3 实验结果366

参考文献367

第十三章 条纹扫描干涉仪369

§13.1 条纹扫描技术369

§13.2 干涉条纹的同步检测370

§13.3 扫描泰曼-格林干涉仪380

§13.3.1 基本原理380

§13.3.2 系统误差382

§13.3.3 波面的探测383

§13.3.4 波面处理384

§13.3.5 绝对校准386

§13.3.6 半径测量387

§13.3.7 透镜检验389

§13.4 扫描式横向错位干涉仪391

§13.5 测长干涉仪392

§13.6 莫尔条纹扫描技术395

参考文献395

第十四章 使用补偿器的零检验法397

§14.1 历史回顾397

§14.2 多尔式补偿器399

§14.3 奥夫纳补偿器402

§14.3.1 折射式奥夫纳补偿器402

§14.3.2 反射式奥夫纳补偿器405

§14.4 用于二次凹面的其它补偿检验法410

§14.5 欣德尔检验法413

参考文献416

§15.1 长度的测定417

第十五章 一些参数的测定417

§15.1.1 曲率半径的测量418

§15.1.2 象方顶焦距和焦距422

§15.1.3 光学零件的厚度422

§15.2 角度的测量423

§15.2.1 分度圆盘423

§15.2.2 曲尺424

§15.2.3 比较标准425

§15.2.4 制造公差428

§15.3 装配容差431

参考文献434

附录436

附录1 光学面及其特性436

附录2 泽耐克多项式及波面拟合443

附录3 波象差的分类460

附录4 几种常用的补偿检验光路465