《高温测量中的探针技术》

目录1

第一章 绪论1

§1-1 探针技术概述1

1 发展简史1

2 发展方向4

§1-2 探针技术的特点5

1 接触式测量与非接触式测量5

2 常用的接触式测量方法7

§1-3 探针技术的分类9

§1-4 探针技术的发展和应用11

1 探针法用于等离子体诊断的发展概况11

2 探针法用于燃烧测量的发展概况13

3 传热中的探针法测量的发展概况15

参考文献15

第二章 等离子体诊断用探针技术19

§2-1 概述19

§2-2 探针理论基础20

1 电探针的理论基础——电离气体动力论21

2 磁探针的理论基础——电磁感应原理和霍尔（Hall）效应30

§2-3 电探针33

1 引言33

2 单探针33

3 双探针42

4 三探针49

5 复杂等离子体条件下的探针54

6 电探针的实验技术61

7 电探针和等离子体的相互作用77

§2-4 磁探针85

1 引言85

3 感应探针90

4 磁场电效应探针91

5 用于高频等离子体诊断的磁探针92

2 磁探针的基本特性96

6 用于相位测量的双磁探针97

7 磁探针和等离子体的相互作用100

1干扰的来源101

§2-5 抗干扰措施101

2克服干扰的措施102

§2-6 电探针的应用106

1 概述106

2 在溅射镀膜工艺中的应用115

3 在等离子体刻蚀中的应用144

参考文献148

§3-1 概述153

第三章 燃烧测量用探针技术153

§3-2 层流燃烧测量的探针技术155

1 引言155

2 用于火焰测量的速度探针156

3 浓度探针172

4 温度探针184

5 火焰中电探针的应用195

§3-3 湍流燃烧测量用的探针技术197

1 引言197

2 探针的干扰199

3 探针的采样200

4 湍流量的测量205

参考文献205

第四章 传热测量用探针技术207

§4-1 概述207

§4-2 量热探针技术208

§4-3 带有冷却装置的电探针218

§4-4 热流探针231

§4-5 动态压力探针233

§4-6 间歇温度探针234

§4-7 辐射探针238

参考文献240

第五章 特殊探针和新型探针242

§5-1 概述242

§5-2 发射探针243

§5-3 等离子体聚合用探针248

§5-4 无扫描探针252

§5-5 共振探针255

参考文献256