《多层膜设计中的计算机辅助技术》求取 ⇩

目录1

第一章 多层膜滤光片计算的基本理论和符号1

1.1　多层膜计算用符号2

1.2　单界面的反射率和透射率4

1.3　单层膜的计算7

1.4　多层膜的计算9

1.5　多层膜的另一种计算方式14

1.6　周期性多层膜和经典膜堆16

1.7　基片后表面反射的影响22

1.8　图解法计算28

1.9 多层膜内部电场强度的计算30

第二章　滤光片的解析设计技术35

2.1 重要滤光片的分类35

2.2 消色差减反射膜的设计（利德尔1966）——一种图解法的说明40

2.3　两有效界面法46

2.4　宽带高反射膜的设计52

2.5　等效折射率技术在多层膜设计中的应用57

第三章　电气滤波器设计技术的应用63

3.1 网络合成中用的基本符号和术语的定义63

3.2　扬的减反射膜合成66

3.3　西利的干涉滤光片合成70

3.4　多层膜的电路模拟方法75

3.5　陈的电路模拟迭代法83

第四章 多层膜设计中评价函数技术的应用86

4.1 鲍曼斯特的逐次逼近法87

4.2 自动设计方法90

4.3　希文斯和利德尔的最小二乘法93

4.4 多布洛沃尔斯基的全自动膜系合成法102

4.5　佩莱梯埃、克劳皮施和贾科玛的多层膜合成法109

4.6　陈的翻转值法115

4.7　膜系偏振效应的减小120

第五章　傅里叶变换合成法126

5.1　近似矢量法127

5.2　精确的合成方法129

5.3　多布洛沃尔斯基和洛的薄膜合成程序131

第六章　薄膜光学常数的理论确定137

6.1 透明基片上单层吸收膜的反射率和透射率公式138

6.2　利用哈德利—丹尼逊曲线确定n和k140

6.3　贝内特和布典方法142

6.4　艾贝莱斯和西耶方法143

6.5　用沃德等人的方法计算光学常数和厚度144

6.6　其他的单波长方法145

6.7　表征光学特性的汉森理论145

6.8　克雷默斯·克罗涅格分析方法149

6.9　弱吸收薄膜光学常数的确定151

6.10　色散公式的使用151

第七章　厚度监控技术和监控误差的分析方法164

7.1　监控误差的计算机模拟166

7.2　鲍曼斯特的灵敏度分析方法169

7.3　窄带滤光片中随机误差的里奇分析172

7.4　翻转值监控方法中的误差研究174

7.5　监控中的“动态”误差181

7.6　使用二个或多个波长的监控系统190

7.7　膜层光学厚度不相等的滤光片191

附录1 对多层膜设计者有用的一些最优化技术简介　196

A1.1 引言196

A1.2　无约束最优化方法197

A1.3　极小化非线性函数的平方和方法199

A1.4　有约束的最优化方法201

A1.5　程序库中最优化程序的获得和运用203

附录2 计算机程序204

A2.1 计算无吸收、无色散薄膜的反射率和透射率的程序　204

A2.2 N2扫描自动设计程序（NSQ2）的说明214

参考文献218