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目录1

第一章 绪论1

§1.1 声表面波技术的发展史1

§1.2 声表面波器件存在的问题4

§1.3 声表面波滤波器5

§1.4 延迟线9

§1.5 声表面波振荡器10

§1.6 结束语11

参考文献12

第二章 声表面波基础13

§2.1 声表面波13

2.1.1 弹性波13

2.1.2 瑞利波14

2.1.3 瑞利波的激励16

2.1.4 声表面波的种类及其传播特性17

§2.2 光刻20

2.2.1 光刻22

2.2.2 叉指换能器的制作25

§2.3 设计32

2.3.1 叉指换能器的几种模型及其等效电路33

2.3.2 声表面波滤波器的设计41

2.3.3 声表面波滤波器的使用方法48

§2.4 测量方法52

2.4.1 材料常数52

2.4.2 器件的综合特性(以滤波器特性为主)59

2.4.3 插入损耗62

2.1.4 利用射频短脉冲群测量64

参考文献65

第三章 声表面波材料77

§3.1 概述77

3.1.1 声表面波器件用的压电基片的必备条件77

3.1.2 各种压电基片材料78

§3.2 单晶83

3.2.1 LiTaO3单晶86

3.2.2 LiNbO3单晶93

3.2.3 Bi12GeO20单晶96

3.2.4 石英单晶98

§3.3 薄膜99

3.3.1 薄膜材料的特长100

3.3.2 薄膜材料的种类及其形成方法101

3.3.3 ZnO压电薄膜102

§3.4 陶瓷114

3.4.1 各种压电陶瓷材料的基本特性115

3.4.2 PZT系压电陶瓷材料119

3.4.3 表面状态与致密度的提高126

3.4.4 极化与声表面波特性129

3.4.5 材料性能的重复性和均匀性132

参考文献135

第四章 声表面波应用142

§4.1 概述142

§4.2 滤波器146

4.2.1 调频(FM)调谐器用的滤波器146

4.2.2 电视机用的声表面波滤波器149

4.2.3 通信机用的滤波器159

§4.3 延迟线176

4.3.1 非色散型延迟线176

4.3.2 抽头延迟线181

4.3.3 色散延迟线183

§4.4 声表面波振荡器194

4.4.1 原理194

4.4.2 振荡器的应用196

4.5.2 器件的结构197

4.5.1 原理197

§4.5 声表面波放大器197

§4.6 非线性器件200

4.6.1 声表面波卷积器200

4.6.2 光学图像的扫描202

4.6.3 声表面波存储器203

§4.7 其它的声表面波器件203

4.7.1 表面波声光器件203

4.7.2 在声摄像装置中的应用204

参考文献208

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