《声表面波传感器》求取 ⇩

第一章　声表面波传感器概论1

一、引言1

二、声表面波技术基础3

三、声表面波传感器理论基础27

第二章　声表面波谐振式压力传感器37

一、压力的基本定义及各种单位37

二、声表面波谐振式压力传感器的组成及工作机理38

三、声表面波谐振式压力传感器敏感元件的理论设计45

四、声表面波谐振式压力传感器敏感元件的有限元设计65

五、声表面波谐振式压力传感器信号检测电路的设计130

六、声表面波谐振式压力传感器的误差分析140

第三章　声表面波加速度传感器149

一、概述149

二、声表面波加速度传感器的工作机理150

三、声表面波加速度传感器的结构形式154

四、声表面波加速度传感器误差分析156

五、声表面波加速度传感器的测试159

第四章声表面波流量传感器165

一、概述165

二、声表面波流量传感器的工作机理165

三、声表面波流量传感器的理论分析166

四、声表面波流量传感器的动态响应168

第五章声表面波气体传感器171

一、概述171

二、声表面波气体传感器的工作机理172

三、敏感薄膜与传感器特性之间的关系175

第六章声表面波角速度传感器177

一、概述177

二、声表面波中陀螺效应的理论推导178

三、声表面波中陀螺效应的大小及方向的分析187

四、声表面波中陀螺效应产生原因的定性分析192

一、利用差动结构进行温度补偿195

第七章声表面波传感器温度补偿方法的研究195

二、利用频率测量时计数门时间与温度有关进行温度补偿197

三、利用单片机实现温度补偿200

第八章浮动零点法及其在声表面波传感器中的应用203

一、概述203

二、差动原理203

三、浮动坐标原理205

四、浮动零点法207

五、结论209

参考文献211