《小如蚂蚁 半导体传感器与微电子机械系统》

1 概论1

1．1传感器的作用与地位1

1．2传感器的技术发展6

1．3平面工艺简介12

2 半导体传感器工作原理、结构与特性16

2．1硅材料与硅传感器16

2．2半导体光敏传感器18

2．3半导体力学量传感器30

2．4半导体磁敏传感器37

2．5半导体温度传感器42

2．6场效应管敏感器件46

2．7集成传感器51

2．8发展现状与趋势57

3 微电子机械系统60

3．1电子机械系统与微电子机械系统60

3．2微机械执行器与微电子机械系统的发展62

3．3微机械加工技术66

3．4微机械执行器81

3．5微电子机械系统（MEMS）95

3．6微电子机械系统的发展趋势108

4 国家攀登计划“微电子机械系统”研究成果111

4．1微马达112

4．2微电子机械系统117

4．3技术和材料123

4．4小结和展望131

一、在工业生产控制系统中的应用140

附 应用举例140

二、在汽车和船舶中的应用143

三、在安全、防火方面的应用146

四、在电力测量中的应用147

五、在家用电器中的应用148

六、在医学中的应用149

七、在纺织行业中的应用150

八、在显示器及数码相机中的应用151

九、在尖端武器中的应用152

小词典154