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第一章电荷耦合器件的物理机理1

1.1 引言1

1.2 MOS物理过程简介1

1.3 电荷耦合器件的基本工作原理7

1.4 埋沟CCD18

1.5 电荷的注入和检测方法23

第二章 电荷耦合器件的制造工艺31

2.1引言31

2.2 铝栅工艺31

2.3 常用的CCD工艺32

2.4 器件制造工艺流程举例35

2.5 工艺和CCD主要参数的关系35

2.6 戽链器件(BBD)的工艺36

2.7 埋沟器件的工艺37

2.8 辅助外部元件的集成38

第三章 CCD延时线和延时线滤波器39

3.1CCD信号处理器件及其应用概况39

3.2 CCD延时线的性能限制40

3.3 各种结构的CCD延时线及其工作方式46

3.4 延时线滤波器58

3.5 递归滤波器的频域、时域特征60

3.6 延时线滤波器应用举例68

第四章电荷域的滤波84

4.1 基本无源CCD谐振器84

4.2 CCD双谐振器87

4.3 电荷定向网络的综合90

4.4 电荷定向滤波器设计实例97

第五章CCD横向滤波器及其在线性变换中的应用107

5.1 CCD横向滤波器107

5.2 固定加权分裂电极的CCD横向滤波器112

5.3 横向滤波器用于线性变换130

5.4 电控编程横向滤波器(EPTF)156

第六章固体摄象器中的CCD179

6.1 引言179

6.2 MOS电容的光照特性179

6.3 成象原理与系统181

6.4 CCD线阵象感器183

6.5 CCD面阵象感器185

6.6 电荷注入器件(CID)189

6.7 固态彩色摄象机系统192

6.8 固体象感器的性能极限207

6.9 CCD微光成象器件212

6.10 CCD红外成象系统223

参考文献243

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