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目录5

前言5

尘埃的测量和控制7

清洁车间的设计和管理20

清除电子器件中物理沾污体用的超声波清洗装置31

“雪白方案”——收讯管达到更高可靠性的一条途径43

在电子器件生产中有机沾污体的检验、清除和控制52

半导体机械加工和腐蚀的清洁度因素83

电子器件研制中研究气体问题用的质谱仪的设计和应用92

质谱仪对鉴定电子管材料处理效果的应用102

电子管金属零件含气量的指示剂——碳114

电子器件及零件处理用气体的分析及控制方法123

导电石墨涂层的吸附和解吸特性137

电子管零件用不同方法处理时的吸氢146

钼丝镀金前的阴极电清洗156

用化学浸蚀进行电子管零件的高度净化处理164

放射性示踪剂在鉴定零件清洁度中的应用175

零件清洁处理对电子管性能的影响189

氧化物阴极热电子发射与玻壳成分的关系199

用超清洁二极管作为微波应用方面的放射检验器211

电子器件制造过程中高纯本征水的制备和应用219

供半导体器件用的高纯度甲醇的配制232

纯水在电子器件制造工业中的应用243

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