《接触式干涉仪原理与使用》

绪言1

第一章 接触式干涉仪的外型、结构和工作原理3

一、外型结构3

二、仪器的工作原理9

第二章 仪器使用前的预调和工作台的应用20

一、仪器干涉带的寻找和调整20

二、仪器的定度和读数21

三、仪器干涉头的结构25

四、仪器所附工作台种类和选用说明28

1.分度值误差对测量精度的影响32

一、仪器误差的产生原因32

第三章 仪器误差及其检定方法32

2.在检定仪器时，基准量块引入的误差37

3.估读误差37

4.仪器示值不稳定性对测量精度的影响38

5.干涉光管的示值最大不准确度38

二、仪器的测量方法误差39

1.作为基准用-等量块带来的误差40

2.温度误差40

3.测量轴轴线与工作台不垂直度对测量精度的影响41

三、仪器示值误差的检定方法43

四、接触式干涉仪单色滤光片的检定46

1.利用钠光灯波长作标准，在被检的接触式干涉仪上检定滤光片波长47

2.利用1等量块作标准在柯氏干涉仪上检定单色滤光片的波长49

第四章 接触式干涉仪在计量测试中的应用54

一、量块的检定54

1.检定前的技术要求和准备工作54

2.量块的检定72

二、接触式干涉仪在精密测试中的应用76

1.测帽的选择76

2.测帽和砧座之间平行度的调整77

3.标准量块的选用和组合80

4.零件的精密测试82

三、接触式干涉仪用于微小尺寸的绝对测量100

一、与测长机结合测量大量块和高精度校对杆104

第五章 扩大仪器使用范围，改装，组合接触式干涉仪的实用方法104

二、与象点比较仪结合提高孔径的测量精度105

三、与万能测长仪组合测量孔径107

1.组合方法107

2.测量结果误差的分析110

四、用接触式干涉仪改装为非接触式孔径干涉比较仪测量高精度孔径、深孔、盲孔的方法115

1.测量原理116

2.仪器的改装120

3.测量精度124

五、组合小角度发生器125

参考文献126