《激光在计量测试技术中的应用》

前言1

第一章激光基本原理1

1.1 激光的发展1

1.2 激光的特点3

1.3 光和物质的相互作用11

1.4 光谱线的宽度26

1.5 光学谐振腔37

1.6 介质对光的增益作用68

第二章激光器和稳频技术68

2.1 氦氖激光器91

2.2 半导体激光器97

2.3 稳频技术105

第三章激光干涉计量技术105

3.1 干涉测长的基本原理131

3.2 干涉系统主要元件的选择140

3.3 激光干涉测量系统155

3.4 空气折射率的测量190

3.5 应用实例200

第四章激光轮廓测量技术269

4.1 偏振干涉仪269

4.2 同轴式干涉轮廓仪276

4.3 纳米级检测技术286

4.4 纳米级定位技术296

第五章激光在表面粗糙度测量中的应用296

5.1 激光散斑技术在表面粗糙度测量中的应用303

5.2 激光散射在表面粗糙度中的应用316

5.3 激光全息及其在测量表面粗糙度中的应用330