《电子精密机械导论》

第一章机电一体化技术概论1

1-1机电一体化的含义1

一、机电一体化的来历1

二、何谓机电一体化1

1-2机电一体化系统的组成要素1

一、机体2

二、传动系统2

三、检测装置2

四、执行机构3

五、控制系统3

1-3机电一体化产品的优越性4

一、安全性大大提高4

二、可靠性大大提高4

三、精度高，质量高，生产率高4

四、简化操作，使用性能大大改善4

五、具有复合功能，适用性广5

六、大大节约能源5

七、具有柔性，适用于多品种、小批量生产5

八、功能成本比大，价格较便宜5

九、减轻劳动强度，改善劳动条件5

十、加快产品更新换代，提高竞争力5

1-4机电一体化产品的发展简况6

一、国外机电一体化产品发展简况6

二、国内机电一体化产品发展简况6

复习题7

第二章自动装配机8

2-1电阻引线自动焊接机8

一、概述8

二、总体构思9

三、主要机构11

四、提高生产率的措施15

2-2铝电解电容器自动装配机17

一、概述17

二、总体构思18

三、主要机构21

2-3碟形芯柱制造机33

一、概述33

二、总体构思34

三、主要机构37

2-4自动插件机43

一、概述43

二、整机概况44

三、主要机构46

2-5高速贴片机65

一、概述65

二、高速贴片机概况68

三、主要机构70

2-6多工位装配机的典型传送机构85

一、概述85

二、直线式传送机构86

三、回转式传送机构89

复习题95

第三章集成电路制造工艺关键设备96

3-1概述96

一、集成电路96

二、双极型集成电路制造工艺流程97

三、MOS集成电路制造工艺流程101

3-2图形发生器103

一、概述103

二、工作原理104

三、主要机构105

四、控制系统118

3-3精缩机120

一、概述120

二、主要机构121

3-4分步重复投影光刻机（DSW）122

一、概述122

二、主要机构124

三、发展简况及趋势135

3-5超微细加工设备概论135

一、电子（离子）光学基础135

二、电子束曝光技术140

三、离子束技术141

3-6电子束扫描曝光机143

一、概述144

二、主要机构144

三、控制系统158

3-7电子束蒸发与磁控溅射158

一、概述158

二、低温泵电子束蒸发镀膜机160

三、等离子磁控溅射台167

3-8管芯键合168

一、概述168

二、全自动超声金丝球焊机171

复习题189

第四章电子计算机外部设备190

4-1概述190

一、何谓外部设备190

二、外部设备类型190

三、外部设备的特点及发展趋向191

4-2输入设备192

一、概述192

二、键盘输入设备192

三、光—电纸带输入机196

4-3输出设备201

一、概述201

二、点矩阵针式打印机201

三、激光印字机208

四、滚筒式绘图机210

五、平台式绘图机212

六、平面电机绘图机216

4-4外存储设备219

一、概述219

二、硬磁盘存储器220

三、软磁盘存储器228

四、光盘存储器233

复习题236

第五章工业机器人应用238

5-1工业机器人概述238

一、工业机器人的含义238

二、工业机器人的组成238

三、工业机器人的分类239

四、工业机器人的主要技术参数239

五、工业机器人发展简况及趋向240

5-2点焊机器人241

一、概述241

二、IR662/100型机器人概况242

三、IR662/100型机器人的主要机构244

四、IR662/100型机器人的电气系统249

5-3喷漆机器人250

一、概述250

二、PR11喷漆机器人概况251

三、PR11喷漆机器人的主要机构253

5-4装配机器人258

一、概述258

二、精密装配机器人259

复习题260

第六章数控机床261

6-1概述261

一、何谓数控机床261

二、数控机床的组成261

三、数控机床的分类262

四、数控机床的特点及应用263

五、编制程序264

6-2JCS—018型立式加工中心（自动换刀数控立式镗铣床）274

一、概述274

二、主要机构276

三、7CM数控系统总方框图284

6-3慢走丝数控电火花线切割机285

一、概述285

二、慢走丝数控电火花线切割机概况288

三、主要机构290

四、控制系统295

复习题298

主要参考文献299