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D33—1

半导体器件专用生产设备1

材料加工设备1

单晶炉1

QR20—500型区熔单晶炉1

上册目录1

2524—1

D33—2

DJL70型单晶炉3

ZF10082—4公斤大型单晶炉5

D33—8

J5040—1型（ZFA102）内园切割机9

D33—9

切片机9

D33—10

J5040—3型内园切片机11

J5040—4型（Q—40）内园切片机12

J5040—5型（C8242）晶体内园切割机14

J5060型内园切片机15

D33—16

J5060—1型（J5040）园形内刃式切片机17

J5060—2型（SK—60）内园切片机19

J5070型（ZFA067）晶体内园切割机21

J5090型晶体内园切片机23

J5090—1型（JW90）内园切割机25

研磨，抛光机27

J58155型（J5840）硅片磨床27

J58230—1型（J58230）磨片机29

J58500—1型（YM11—50）石英晶体园盘研磨机31

J58410型（ZF258.01）游星式研磨机33

J58320型（M3320）研磨机35

ZF258.02簿片研磨机36

SZB.B007磨片机37

J58320—1型（H110）抛光机39

J58320—2型（M4032）抛光机41

J28250型石英晶体园盘六轴研磨机42

ZFB012精磨抛光机43

H94—2型接触式爆光机45

光刻机45

掩模制造及光刻设备45

H94—7型接触式爆光机47

H94—9型接触式燥光机48

H94—14型（JK—1）接触式光刻机49

H94—15型（JK—71）接触式光刻机51

H94—16型（BG—1）半自动接触式光刻机53

H94—17型（JKG—1）光刻机55

H94—18型（H9545）自动爆光接触式光刻机57

H94—19型（ZM295.01）电子束爆光机59

H94—20型（ZFZ021）座标刻图机61

刻图机61

H94—21型（SZB015.11）座标刻图机62

大型照相机及分步重复照相机63

H93—1型（SZB015.12）大型照相机63

H93—2型（ZFZ025）掩膜制版大型照相机65

H93—3型（ZM631.36）精密自动单头多步重复照67

相机67

H93—4型（ZFZ022）单头二次精密缩小照相机69

ZFJ1—2型自动分布重复照相机71

H93—6型（ZFZ023）八头分步重复照相机73

H93—7型（ZE035.01）八头精密缩小照相机75

H93—8型（SZB015.13）八头程序分步精缩机78

L72500型（JN—ZSl）自动烧结炉80

烧结炉80

烧结炉、扩散炉，外延炉80

L74900型（ZSA—5—750）真空烧结炉82

L7420Ⅱ—1型（ZD464.13）高频真空炉84

L72900—1型（YT—34）晶体管自动控温管式炉86

扩散炉88

L4513Ⅱ—1型（CQW—70）高温扩散炉88

L4512Ⅱ—1型（GL—24）自动控温管式炉90

L4512Ⅱ型（ZM412.07）高温扩散炉92

L4512Ⅱ—2型（YT—2B）晶体管自动控温管式炉94

L4512Ⅱ—3型（YT—8B）晶体管自动控温管式炉96

L4512Ⅱ—4型（YT—9A）晶体管自动控温管式炉98

L4512Ⅱ—6型（YT—10）晶体管自动控温管式炉100

J59100型（ZM295.02）100keV毫米离子束掺杂机102

L4114型（ZM481.05）卧式外延炉（炉体部分）104

外延炉104

B19—1型管道系统106

B16450型（ZM916.01）氢气净化装置108

L4114Ⅱ—1型（YT—6）高频外延炉110

测试检验设备112

光刻机112

J5150型激光划片机112

J5040—2型自动刻划线机114

ZFA068自动划线机115

ZF123晶体片刻线机116

HJ—70型划片机118

J5140—1型（JN—2N）自动划片机120

J5140—3型手动刻线机122

测试台123

D41—1型（ZM621.01）三探针测试仪123

D41—2型（ZM621.02）四探针测量仪124

Y00—19型（ZM700.08）基片分类机125

D44—3型（SZ—3）双探针中测台127

D44—4型手动探针测试台129

间参数测试台131

D44—5型（ZM631.19）高频低频小功率晶体管中131

D44—6型硅平面管自动探针中间参数测试台133

D44—7型（ZM631.24）硅平面管自动探针中间参数测试台136

D47—1型（ZM631.32）固体电路自动探针中测台139

机141

D05—1型（DO38.19）低频小功率晶体管自动分类141

D52—2型（ZM631.04）高频小功率晶体管自动分类机143

装架设备145

超声压焊机145

CWD—2型超声波微引线点焊机145

P10Ⅲ5型（CSH—3）超声压焊机147

P10Ⅲ5—1型（CFS—D—3）超声波点焊机149

P10002型（CFS—D—20）超声波点焊机151

P10Ⅱ15型（HWZCS69—2）超声波点焊机153

CFS—20—9型投影式超声波平面键合机155

SMJ—2型超声波面键合机156

P19—1型（JN-BJ02）半自动超声键合台158

P10Ⅱ15—1型（HWZCS70—2）超声波点焊机160

P10002—3型（BCD—1）半透镜倒装压焊台162

热压焊机164

P10016型（HWZRY—1）热压焊机164

超声波设备166

超声波清洗机166

H664型（CSB—150A）超声波清洗机166

CSF—5型超声波发生器168

CSF—7型超声波发生器170

GFS—150—1型高频超声波清洗机172

H664—1型（GFS—150—2）超声波清洗机173

CSF—1A型超声波清洗器175

H666型（CFS—250—5）超声波清洗机177

CSQ—3CSF—2型超声波清洗机179

H6643型（CFS-1000-3）超声波清洗器181

CSF—6型超声波清洗器183

CFS—5000—2型超声波清洗机185

CSJ—2型超声波加工机187

超声波加工机187

J2045型超声波加工机189

焊接，封帽设备191

点焊机191

CZP—2型超声波中功率点焊机191

L10008—1型（SD—80）中功率超声波点焊机193

L10016—1型（CFS—160）超声波点焊机195

L10025—1型（CSFO—250—1）超声波点焊机197

L1005型（DR—100）储能点焊机199

封帽机201

P132—1型（P13—1）电容贮能式小功率晶体管封帽机201

J204

P134型（P-102）电容贮能式大功率晶体管封帽机204

P103—5型（JN—15）储能式点焊机206

P1325型（FJ—25）晶体管封焊机208

P—101型贮能式大功率晶体管封帽机210

P1320型（DLF—35）大功率储能式封帽机212

其他214

B123型（YAZL）液氨制氢炉214

P125型（FQ—5）液氨制氢炉216

B121型（FY—1）简易制氧机218

B161型（MQC—1）氢气扩散纯化器220

B1610型（MQC—10）氢气扩散纯化器222

B124型（AQD—4）氢氮两用发生器224

J002型（SZBA00100）切铟珠机226

J091型合金球制造机227

J71—2型半自动打印机229

B06—8型单位半导体装配台230

B06—9型双位半导体装配台232

B06—10型四位半导体装配台234

B06—11型六位半导体装配台235

B06—12型（YT—CT—1）超净工作台236

B06—13型（YT-GT—2）超净工作台238

B06—14型（YT—CT—3）超净工作台240

D9114Ⅱ型（YT—KD—1）光电测温控温仪242

D9716Ⅱ型（ZM413.01）温度分布曲线测量仪244

B122—1型氢气发生设备246

电真空器件专用生产设备247

玻璃另件制造加工设备247

玻管制造设备247

C2050—1型旋转管机247

C208型（ZFB025.03）自动拉玻管机249

C2050型（ZFB025.04）自动拉玻管机251

B4050型（ZFB025.02）拉玻管辊道252

B4050—1型（ZFB025.06）收集运输机253

B175型（ZFB025.09）空气稳压装置254

Y00—7型（ZFB025.07）自动选玻管机256

玻管切割设备257

J2024型（ZD220.01）火焰割玻管机257

J2060型电阻丝割玻管装置259

J2080型（ZD220.02）电阻丝割玻管装置260

J2035—1型（J204）钢轮割管机262

204—1型（ZD22.03）钢轮割玻管机264

J2018型（ZFB026）半自动卧式火焰切割玻管机266

玻壳制造设备268

J2222型自动玻壳制造机268

J2320型半自动小型管玻壳热校正机270

J2624型（ZD226.01）24轴半自动玻壳接排气管机272

喇叭制造机274

J244型四轴喇叭机274

J2412型（ZD224.04）12轴自动扩喇叭机276

24轴半自动芯柱压制机278

DB1001型芯柱成型机280

J28200型（ZFA148）玻璃磨边机281

玻璃研磨加工设备281

J28175型（ZFB002）磨边机283

J28250型（A4606）玻璃平面研磨机284

J28430型（ZFB020）电子束管屏抛光磨光机285

玻璃车床286

P40105型卧式玻璃车床286

P40390型卧式玻璃车床287

P40500型（SZB2270.1000）玻璃车床288

P40840型卧式玻璃车床289

热丝、阴极、栅极、消气剂制造设备290

热丝制造设备290

H3150型立式电泳机290

J6308型（ZFR079）灯丝成形机291

J63013型（63008）折曲式热丝成形机292

阴极套管，阴极成型设设备294

J712型（ZFA129）小套管自动制造机294

J713型（J732）双位阴极套管滚筋机295

J703型（J702）双位阴极套管切割机296

H77—1型（H78—1）双位阴极套管去毛刺机298

小型氢气碳化台299

H57400型（ZM357.03）真空碳化台300

H57600型（ZM357.02）真空碳化台301

H78—6型刷碳机302

栅极制造设备303

J61—11型（ZFR064）半自动绕栅焊接机303

J61—11A型半自动绕栅点焊机305

J61—1型（ZFR061）自动绕栅机306

J61—2型（ZFR423）自动绕栅机308

J61—17型（J72—1）全自动绕栅机310

H25—2型（ZFC004）消气剂片冲压机312

消气剂制造设备312

H25—1型（ZFC005）带状消气剂制造机314

J0007型（ZFA156）带状消气剂切割机316

零件清洁处理，喷涂及阴极成形设备318

涂复设备318

H52—6型（C×T—2）离心式涂胶机318

H35—2型（ZD335.01）半自动阴极喷涂机320

H55—1型（ZD355.01）涂石墨机322

清洗设备323

H6011型蒸馏水与酒精清洗装置323

H62160型三氯化乙烯去油装置325

H62300型管针清洗装置327

H16400型三氯化乙烯蒸馏装置328

丝料清洗，退火及另件加工设备329

丝料复绕机329

J8803型（ZFR037）细丝复绕机329

清洗，涂复，退火设备331

L6515Ⅱ—6型（M244-A）细丝清洗退火联动装置331

L6515Ⅱ—3型钼丝钼带退火炉333

H68014型（ZD363.01）细丝电解清洗装置334

H43015型（ZD343.01）细丝热涂装置336

导丝焊接设备337

P15—1型（ZFZ040）自动导丝焊接机337

另件加工设备339

波纹管成形机339

波纹管旋压机340

P103—4型（P103—1）点焊装架台341

点焊设备341

焊接设备341

P103—3型脉冲晶体管点焊机343

P10012型阴极连接带点焊机345

焊接设备347

P14150型（ZD514.02）氩弧焊接机347

P14200型（ZD514.07）氩弧焊接机349

P148型氩弧焊接机351

P18—13型（ZD518.10）12位高频焊接台353

P18—19型氢气高频焊接台354

加热设备355

氢气炉355

L6513Ⅱ—1型（ZD465.03）双管氢气炉355

L6512Ⅱ—3型（ZD465.08）双室氢气炉357

L6512Ⅱ型单管卧式氢气炉359

L6515Ⅱ—5型（D051—22）单管烧氢炉360

L6512Ⅱ—5型双管卧式氢气烘362

L6513Ⅱ—3型双管氢气炉363

L7518Ⅱ型双管氢气炉364

L7515Ⅱ—1型双管卧式氢气炉365

L6510Ⅱ—2型（ZD465.13）大型氢气炉366

L6510Ⅱ—1型（ZD465.15）15KW氢气炉367

L7512Ⅱ型20KW氢气炉368

L6512Ⅱ—5型（ZM454.01）100KW立式氢气炉370

L6515Ⅱ—4型（ZM411.01）立式氢气炉371

L7518Ⅱ—3型（ZD476.01）高温氢气炉372

L7522ⅡA型（L7520A）钨网氢气炉374

真空炉376

L6420Ⅱ型四位真空高频退火炉376

L6420ⅡA型四位真空高频退火炉377

L6420Ⅱ—1型四位真空高频退火炉378

ZD464.06四位真空退火炉379

L6410Ⅱ型（ZD464.11）双位立式真空炉381

L6413Ⅱ—1型坑式真空炉382

L6510Ⅱ—2A型（D056.11）真空炉384

L6510Ⅱ—2B型（ZM464.01）真空炉386

L6510Ⅱ—2C型（ZM625.02）大型真空炉387

L10500型（ZD410.01）箱式退火炉389

预热退火炉389

L10500—1型箱式退火炉390

L10600—2型煤气红外线玻璃另件退火炉391

L12450—2型（ZD412.01）芯柱退火炉392

封口设备393

封口，排气，烘装，老炼，测试393

例行试验设备393

J271型小高频封口机393

P4124型（ZD541.10）24轴封口机395

P411—1型封口机397

P48—1型烤消气剂机398

排气设备398

P431—7型（ZD543.24）行波管离子泵排气台400

P432—1型放电器件排气台402

P431—2型超高真空磁控管排气台404

P431—10型（ZD543.16）超高真空排气台406

P4312型（ZD543.03）速调管排气台408

P432—9型双位双真空排气台409

P434—1型（ZD543.14）双层钟罩排气台410

P4448型（ZD554.02）萤光灯排气台411

烘装设备412

P6410—1型十位烘装机412

老炼设备413

P80—14型（ZD580.01）萤光老炼台413

P82—1型老炼台414

P82—4型老炼台415

P82—5型老炼台417

P82—6型老炼台419

P82—7型老炼台421

P82—8型老炼台423

P82—9型老炼台424

P82—11型老炼台426

P82—12型老炼台428

P82-29型EM2-70/32脉冲整流二极管低压老炼台429

P82—21型（ZM582.15）灯塔管老炼台431

P82—19型（ZM582.18）速调管老炼台433

参数测试设备435

D30—2型（ZM631.06）5厘米速调管热测台435

D31—1型参数试验台438

D31—2型参数试验台441

D31—3型参数试验台444

D31—4型参数试验台447

D31—5型参数试验台450

D31—6型参数试验台453

D31—7型参数试验台457

D31—8型参数试验台460

D31—9型参数试验台463

D31—10型参数试验台466

D31—11型参数试验台469

D31—12型参数试验台473

D31—13型参数试验台476

D31—14型万能参数试验台478

D31—16型参数试验台482

D31—20型参数试验台485

D31—28型参数试验台488

D32—1动态参数试验台490

L33—3型予热短断路试验台492

型予热短断路试验台494

型短断路试验台495

D33—12型4P1S振动短路指示台496

D33—13型振动牢固性试验台498

D33—14型反峰压试验台500

D33—17型通用予热短断路试验台501

D34—1型高频杂音试验台503

D34—2型低频杂音试验台505

D34—4型微音效应试验台507

D34—6型等效噪声测试装置510

D34—7型（ZM631.10）陶瓷四极管振动杂音试验台512

D35—4型（ZM631.29）阴极脉冲放射试验台514

D30—5型（D034.15）予热短断路试验台516

D034.14予热短断路试验台518

D034.12予热短断路试验台520

ZM614.09电压调谐磁控管电源521

D38—4型2J27S、2J27、2P29寿命台524

D38—5型寿命台526

D38—7型寿命台528

D38—8型寿命台530

D38—9型寿命台532

D38—11型寿命台534

D38—16型灯丝断续试验台536

D38—32型寿命台539

D38—36型3厘米速调管寿命试验台541

D38—48型寿命试验台543

D38—49型寿命试验台545

D38—50型陶瓷管灯丝断续试验台547

D39—9型接触电位差及低温放射试验台549

D24—1型极间电容试验台552

D20—1型速调管极间耐压测试台554

D21—1型极间绝缘电阻测试台555

Y53100型电子管离心试验机控制台557

Y50—2型电子管振动稳定性试验台559

Y50—1型电子管振动稳定性试验台562

Y67—1型稳定性试验台565

Y67—2型稳定性试验台567

Y67—3型稳定性试验台570

D82—30型4.5兆瓦脉冲调制器573

P73—3型半自动打印机575

其它575

C757型（C756）链式拉管机576

D02—1型电解清洗电源装置577

C784型（C783）管材校直机579

J752型空心铆钉自动制造机581

C05—3型梳形加料器583

H66—2型硝石予热装置584

H21—1型倒液装置586

H00—1型三位搅拌机587

H002型冷搅拌机588

H0054型热搅拌机589

C0420型瓷瓶混料机591

C03350型碾碎机592

C03385型笼型粉碎机594

C04250型园盘混料机595

C0450型偏心混料机597

C2527型27吨压力机598

P143型真空电容器装配机床599

C062型双瓷瓶球磨机601

C068型滚瓶机603

J113—2型长行程冲床605

Y80—2型（LH—3）高灵敏度氦质谱检漏仪607

Y80—1型（JLH—1）氦质谱检漏仪608

J2524

芯柱制造机2524