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目 录1

1. 测振的激光外差系统1

2. 标定振动位移的干涉方法16

3. 测表面位移的干涉仪54

4. 测表面位移及振动的激光干涉仪64

5. 工业用激光干涉仪76

6. 角位移的测量83

7. 用光学法测量位移的数字化93

8. 物体定位用干涉仪127

9. 物体定位用双激光干涉仪132

10. ГДσ17M光测距仪136

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