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第一章 概论1

第一节 真空的基本概念1

第二节 气体分子运动基本概念6

第三节 气体与固体的相互作用11

第四节 真空设备的分类13

第二章 真空获得设备15

第一节 机械泵15

第二节 蒸气流泵19

第三节 分子泵21

第四节 吸附泵23

第五节 钛泵24

第六节 冷凝泵28

第一节 绝对真空计与相对真空计30

第三章 真空测量设备30

第二节 热传导真空计31

第三节 热阴极电离真空计32

第四节 超高真空电离计33

第五节 冷磁控超高真空计34

第六节 其他真空计35

第四章 检漏仪器及检漏方法38

第一节 常用检漏方法38

第二节 氦质谱检漏仪39

第五章 残气分析仪器42

第一节 回旋质谱计42

第二节 四极滤质器44

第三节 其他质谱计46

第六章 真空系统及其配套设备49

第一节 真空系统49

第二节 真空设备50

第七章 真空元件与材料58

第一节 真空密封法兰58

第二节 真空阀门61

第三节 冷阱62

第四节 波纹管64

第五节 真空材料66

附表一——二十一69

一 常用压强单位换算表69

二 常用物理常数表70

三 简单几何形状管道自由分子流的流导计算公式71

四 旋片式真空泵72

五 直联旋片泵73

六 其他机械真空泵74

七 高真空油扩散泵75

八 高真空油扩散凸腔泵76

九 我国K系列高真空油扩散泵主要技术性能77

十 国外部分油扩散泵型号及技术性能78

十一 国内外立式涡轮分子泵技术指标79

十二 部分国产热钛泵的型号及性能80

十三 国内溅射离子钛泵型号及性能80

十四 部分国产真空计型号及主要性能81

十五 部分国产真空规管型号及性能82

十六 国内外氦质谱检漏仪的主要性能83

十七 电真空技术中常用质谱计的主要参数84

十八 国产高真空机组的主要技术性能85

十九 国产超高真空机组86

二十 国产各类镀膜机86

二十一 我国现有与真空技术有关的标准89

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