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第一章 智能式传感器1

1.1 概述1

目录1

1.2 智能式传感器的构成2

1.3 压阻式压力传感器智能化3

1.3.1 智能式压阻压力传感器硬件结构3

1.3.2 智能式压阻压力传感器的软件设计4

1.3.3 非线性与温度误差的修正4

1.3.4 实验结果与结论7

1.4.1 集成智能传感器8

1.4 智能式传感器的发展方向与途径8

1.4.2 我国研究与开发智能式传感器的途径10

第二章 光导纤维传感器11

2.1 概论11

2.1.1 光纤传感技术的形成及其特点11

2.1.2 光纤传感器的光源11

2.1.3 光纤传感器用光探测器12

2.1.4 光纤传感器的分类12

2.2.1 光导纤维及其传光原理14

2.2 光导纤维以及光在其中的传输14

2.2.2 光在普通光导纤维内的传输16

2.2.3 光在特殊光导纤维内的传输20

2.3 光调制技术21

2.3.1 相位调制与干涉测量21

2.3.2 光纤中的相位调制25

2.3.3 频率调制27

2.4 光纤位移传感器29

2.4.1 光纤开关与定位装置30

2.4.2 传光型光纤位移传感器36

2.4.3 受抑全内反射光纤位移传感器39

2.4.4 光纤微弯位移传感器43

2.4.5 光纤干涉型位移传感器47

2.5 光纤速度、加速度传感器49

2.5.1 光纤激光渡越速度计49

2.5.2 利用马赫—泽德干涉仪的光纤加速度计50

2.5.3 倾斜镜式光纤加速度计53

2.6.1 相位调制光纤振动传感器57

2.6 光纤振动传感器57

2.6.2 利用光弹效应的光纤振动传感器63

2.7 光纤温度传感器66

2.7.1 相位调制型光纤温度传感器66

2.7.2 热辐射光纤温度传感器71

2.7.3 传光型光纤温度传感器75

2.8 光纤流量、流速传感器79

2.8.1 光纤旋涡流量计79

2.8.2 光纤激光多普勒测速计83

2.9.1 利用马赫—泽德干涉仪制作的光纤压力传感器85

2.9 光纤压力传感器85

2.9.2 偏振型光纤压力传感器88

2.9.3 差分外差法光纤压力传感器94

2.9.4 利用纵向应力作用的光纤压力传感器96

2.10 医用光纤传感器99

2.10.1 光纤测氧计99

2.10.2 光纤血流计103

2.10.3 光纤体温计105

2.10.4 光纤医用pH计106

2.10.5 光纤体压计107

第三章 固态图象传感器109

3.1 引言109

3.2 固态图象传感器的敏感器件111

3.2.1 电荷耦合器件(CCD)111

3.2.2 电荷注入器件(CID)119

3.2.3 戽链式器件(BBD)120

3.2.4 MOS式光电变换器件120

3.3.2 线型固态图象传感器121

3.3 固态图象传感器121

3.3.1 固态图象传感器的分类121

3.3.3 面型固态图象传感器126

3.3.4 固态图象传感器的主要特性137

3.3.5 固态图象传感器的应用145

3.4 红外线固态图象传感器155

3.4.1 集成红外固态图象传感器155

3.4.2 混合式红外固态图象传感器156

4.1 生物传感器的基本原理和分类158

第四章 生物传感器158

4.2 生物活性物质固定化技术159

4.3 酶传感器160

4.4 微生物传感器163

4.5 免疫传感器167

4.6 生物传感器的应用与发展方向169

4.6.1 生物传感器的应用169

4.6.2 生物传感器的发展方向170

5.1 引言171

第五章 机器人传感器171

5.2 触觉传感器172

5.2.1 触觉173

5.2.2 压觉177

5.2.3 力觉178

5.2.4 滑觉187

5.3 视觉传感器189

6.1.1 气体传感器及气体检测方法192

6.1 概述192

第六章 气体传感器192

6.1.2 气体传感器的分类193

6.2 半导体气体传感器196

6.2.1 半导体气体传感器及其分类196

6.2.2 气敏机理198

6.2.3 主要特性及其改善201

6.2.4 表面控制型电阻式传感器205

6.2.5 体控制型电阻式传感器212

6.2.6 非电阻式半导体气体传感器214

6.2.7 半导体气体传感器的应用218

6.3 红外线吸收式气敏传感器222

6.4 接触燃烧式气体传感器224

6.5 热导率变化式气体传感器227

6.6 湿式气敏传感器228

第七章 湿度传感器230

7.1 引言230

7.1.1 湿敏元件的特性参数231

7.2 电解质系湿度传感器234

7.2.1 无机电解质湿度传感器234

7.1.2 湿度传感器的分类234

7.2.2 高分子电解质湿度传感器238

7.2.3 有机季铵盐高分子电解质湿敏元件241

7.2.4 聚苯乙烯磺酸铵湿敏元件242

7.3 半导体及陶瓷湿度传感器242

7.3.1 涂覆膜型242

7.3.2 烧结体型244

7.3.3 薄膜型247

7.4.1 胀缩性有机物湿敏元件248

7.4 有机物及高分子聚合物湿度传感器248

7.4.2 高分子聚合物薄膜湿敏元件251

7.5 湿度传感器的标定及其设备253

7.5.1 湿敏元件定量标定的原则253

7.5.2 相对湿度的标定方法及设备254

7.5.3 绝对湿度的标定方法及设备259

7.6 湿度传感器的应用及发展动向263

第八章 红外探测技术265

8.1 红外辐射的基本知识265

8.1.1 红外辐射265

8.1.2 红外辐射术语267

8.1.3 红外辐射源269

8.2 红外探测器271

8.2.1 常见红外探测器271

8.2.2 红外探测器的性能参数275

8.2.3 红外探测器使用中应注意的问题280

8.3 红外测温282

8.3.1 红外测温的特点282

8.3.2 红外测温原理283

8.4.1 红外成像原理288

8.4 红外成像288

8.4.2 红外成像仪290

8.5 红外分析仪292

8.6 红外无损检测294

8.6.1 焊接缺陷的无损检测294

8.6.2 铸件内部缺陷探测296

8.6.3 疲劳裂纹探测296

8.7 红外探测技术在军事上的应用297

8.7.1 红外侦察298

8.7.2 红外雷达298

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