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目录1

器件篇1

第一章 概述1

1.1摩托罗拉硅压力传感器的特点、发展及分类3

1.2摩托罗拉硅压力传感器的符号及命名7

1.3摩托罗拉硅压力传感器的基本结构及原理8

1.4摩托罗拉压力传感器的微加工技术和微电子技术10

第二章 基本的无补偿型硅压力传感器13

2.1典型产品介绍——MPX10、MPX12应变仪13

2.2其他系列无补偿硅压力传感器19

第三章 具有片内温度补偿与校准的硅压力传感器23

3.1新产品MPX2300D压力传感器23

3.2典型产品介绍——MPX2010、MPX2012应变仪24

3.3其他具有片内温度补偿和校正的硅压力传感器介绍30

第四章 具有温度补偿、校正和信号调理电路的全集成单片硅压力传感器37

4.1MPX4250歧管绝对压传感器——摩托罗拉新产品37

4.2其他系列全集成单片硅压力传感器41

第五章 高输入阻抗型、具有片内温度补偿和校正的硅压力传感器52

5.1MPX7050系列硅压力传感器52

5.2其他系列高输入阻抗型压力传感器55

第六章 硅温度传感器60

6.1特点、封装及引脚60

6.2MTS102/103/105系列温度传感器的额定参数、工作特性参数、热特性及机械特性60

6.3应用信息63

第七章 摩托罗拉加速度传感器、化学传感器及其他66

7.1对加速度传感器和加速度仪的性能要求及各种加速度仪的对比66

7.2电容式加速度仪的工作原理及表面微加工技术67

7.3加速度传感器及其控制电路68

7.6MMAS40G加速度仪71

7.5加速度传感器小结71

7.7摩托罗拉化学传感器73

7.8摩托罗拉集成半导体气体(GAS)传感器简介75

7.9烟雾检测器76

7.4加速度传感器的特性77

7.10光传感器及其在高速运动控制系统中的应用77

第八章 质量与可靠性79

8.1综述79

8.2硅压力传感器的可靠性问题80

8.3汽车和工业传感器的可靠性测试88

8.4统计过程控制89

8.5静电释放数据94

应用篇101

概述101

第九章 摩托罗拉压力传感器的补偿104

9.1摩托罗拉X[CD*2]ducer型压力传感器件的温度补偿方法(AN840)104

9.2MPX10系列压力传感器的非线性补偿方法(AN935)114

第十章 信号调理器120

10.1半导体压力传感器的放大器(AN1325)120

10.2简单的传感器接口放大器(AN1324)124

11.1采用摩托罗拉压力传感器设计的4~20mA变送器(AN1082)128

第十一章 压力变换系统128

11.24~20mA压力变送器评估模扳(AN1303)131

11.3MPX2000系列传感器的频率输出系统(AN1316)134

11.4半导体压力传感器的脉宽调制输出(AN1518)139

1.5半导体压力传感器压力开关电路设计(AN1517)144

第十二章 用摩托罗拉压力传感器构成巴图(BarGraph)压力计150

12.1用集成传感器构成简易巴图(BarGraph)压力计150

(DEVB129巴图压力计)(AN1304)150

12.2补偿型传感器构成的巴图压力计(AN1309)154

12.3半导体传感器在巴图压力计中的应用(AN1322)159

13.1半导体传感器与微处理器接口(AN1318)165

第十三章 压力传感器与微处理器构成应用系统165

13.2MPX2000系列压力传感器与微处理器接口数字系统(AN1315)172

13.3免校准压力传感器系统(AN1097)193

13.4MPX5100压力传感器与微处理器直接相连的测量评估系统(AN1305)198

13.5用摩托罗拉压力传感器扩展A/D转换器的分辨力(AN1100)210

第十四章 液位和气压测量系统213

14.1摩托罗拉传感器在液位控制中的应用(AN1516)213

14.2用摩托罗拉MPX700系列压力传感器构成数字压力测量仪(AN1105)217

14.3使用半导体压力传感器的气压测量仪(AN1326)222

14.4用半导体压力传感器构成简单压力调节器(AN1307)231

15.1安装注意事项237

第十五章 安装237

15.2摩托罗拉压力传感器——推荐一种用于较低绝对压力测量的外壳设计(AN1303)239

附录241

附录1 封装外形尺寸图241

附录2 压力传感器标记信息251

附录3 压力传感器和温度传感器引脚图252

附录4 参考表253

附录5 符号、术语、定义254

附录6 压力/真空面积识别标志255

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