《第四届国际固态传感器会议论文集 下》

综合1

1．光-光变换器Akio Sasaki1

2．用于测量薄膜机械性能和附着力的微加工构件StePhen D．Senturia8

3．具有数字或频率信号输出的传感器S．Middelhoek等14

4．微计量超声波传感器Noriyoshi Chubachi22

5．自适应智能速度传感器Hiro yamasaki等29

6．触发传感器阵列构成的图案识别器W.Lian等36

7．引入触发器技术的NMOS数字输出多传感器芯片P.J.French等42

8．加权函数可变的集成空间滤波器Shintaro lnagaki等47

9．一种具有CMOS接口电路的集成多路化学场效应晶体管Keiji Tsukada等51

10．用于绝对位置测量的具有在片信号处理电路的集成光电二极管阵列Karl J.Erb55

11．带新研制大规模集成电路的门诊用微型遥测传感系统的研制Yoshio Oshima等59

12．采用特制CMOS大规模集成电路开发的外部控制植入式生物遥测系统Heedon Seo等63

13．用于CMOS集成电路传感器的低噪声、低漂移接口电路Isao Dendo68

14．一种用于电容传感器的双极型集成电路Frank Doorenbosch73

15．关于传感器根据逆向普利萨奇图的滞环误差修正方法Ichiro Sasada等77

力传感器82

16．利用剪切压阻效应原理制作的多晶硅应变式传感器P.J.French，A.G.R.Evans等82

17．微机械加工浮动元件剪力传感器Martin A,Schmidt等87

18．非接触压磁式扭矩传感器Jun Sugiyama等91

19．高检测灵敏度自适应控制型张力传感器Ryuzo UEDA,Toshikatsu SONODA等96

压力传感器100

20．微晶多晶硅及其在平面压力传感器中的应用H.Guckel等100

21．硅悬臂振荡器用作真空传感器Yoshio Kawamura等105

22．悬浮膜片式热真空传感器A.W.van Herwaarden P.M.Sarro110

23．一种用光干涉读出的微型微音器Devid J.warkentin等115

24．用硅片制造超小型驻极体微音器的研究A.J.Sprenkels,P.Bergveld119

25．压阻型压力传感器设计方法的新发展鲍敏杭 王言 齐薇佳123

26．植入电容式压力传感器的制造Shuichi Shoji等131

27．一种制造电容式压力传感器的新工艺S.MIYOSHI等136

28．直径0.5mm的生物医用压力传感器l Tenerz,B.Hok139

29．蓝宝石上外延硅——高温压阻式压力传感器的关键工艺H.W.Keller，K．AnagnostoPouIos143

30．蓝宝石上外延硅压力传感器Chen Qinggui等147

31．用硅微机械加工的压结晶体管新型力学量传感器B，puers等150

32．压敏驻极体MOSFET结构样机的研制J．A．Voorthuyzen154

33．一种具有低挠度和高共振频率的力学量硅传感器元件挪咸工业研究中心158

34．用于测量压力、流量、加速度和姿态的硅膜片电容式传感器James T.Suminto等162

35．具有绝热结构的单片式压力-流量传感器Osamu Tabata等167

36．心血管导液管用超微型固态压力传感器Hin一leung chau,Kensall D.wise171

37．可变换的带有在片补偿线路的硅压力传感器P．koPystynski E·obermeier175

位置、角度和速度传感器179

38．利用硅（100）面各向异性腐蚀制作的固体介质气载超声换能器Kenichiro Suzuki等179

39．行程传感装置184

40．表面缺陷对硅位置-灵敏探测器性能的影响H,yashiro等189

41．新颍的集成光控电位器Y．Z．Xing和w．J．Lian193

42．磁曲轴角度传感器Kunio Miyashita等197

43．直线位移用直流磁场型涡流速度传感器Tosh5katsa soNoDA， Ryuzo uEDA200

加速度传感器204

44．硅微加速度计Felix Rudolf204

45．能补偿横向加速度的硅微型加速度计H,Sandmaier等208

46．一种用于汽车控制系统的半导体加速度计Masahiro Tsugai,Mikio Bessho212

47．利用切变压力的四端应变片式硅压力传感器和加速度计Yozo Kanda等216

48．采用三种设计解决微刻度g开关中碰到的问题C.Robinson，D.Overman et al219

流量传感器224

49．用于测量流速和流向的微片流动传感器Nobuyuki TANAKA等224

50．对低速敏感的硅空气流动传感器Masayuki Sekimura和Shunji Shirouzu228

51．用作风速计的轻掺杂多晶硅电桥yu—chong Tai，Richard S、wuUer232

52．一种带有脉冲调制输出的集成气体流动传感器Goran Stemme238

53．集成流量摩擦传感器B.W.Van OudhEUSden和J.H.Huijsing242

54．热电式质量流量计J.H.Huijising247

微执行器252

55．微型电-流体阀Mark j．ZdebIick James B.Angell252

56．集成流量控制器的制造Masayoshi Esashi等255

57．基于热膨胀效应的微机械硅执行器W．Riethmiier等261

58．微机械硅悬臂结构中的光激发机械振荡W．Benecke等264

59．谐振微传感器Roger T．Howe267

60．连接销、齿轮、弹簧、曲柄和其他新颍的微机械构件Lon9—Sheng Fan等275

61．在硅平面上腐蚀微型齿轮和涡轮K.J．Gabried等278

62．硅静电式电动机W、S、N、Trimmer笑281

63．用硅微机械加工工艺制造的静电线性执行器的原理Hiroyuki Fujita，Akito Omodaka284

64．新型二维压电执行器Mesayuki wakamiya289

气传感器293

65．驻极体与铑气体传感器Carl F．Klein，Pau1 E．Thoma293

66．用于鉴别固体或液体化合物的电化学气体传感器Joseph R Stetter299

67．两种化学敏感双极型器件J.W.HoIm—Kennedy305

68．用于气体检测的调制型热电红外传感器Toshiaki Yokoo等309

69．生物系统中化学传感器的传感机理及其在人造膜传感器中的应用Kenzo Kurihara等314

70．公共汽车自动通风系统的气体传感器Hideaki Kato Tomonori Fukui320

71．利用分离系数和溶解度性质了解和预测表面声波蒸气传感器的特性J.W.Grate等325

72．用不对称轴向替代的兰米尔—布洛杰特薄膜作为气体传感器材料C.W.Fu等330

73．光波导传感器的最新发展K.Nishizawa332

74．高灵敏度甲烷传感器N.K.omori等337

75．用超细金属微粉的扩散现象检测气体Hiroshi Komiyama等341

76．双梯度厚膜金属氧化物气体传感器M.W.Siegel和Lanwai Wong344

77．不同的集成薄膜气体传感器之间热机械性能和功耗的比较V.Demarne等352

78．Pd-SnOx MIS氧传感器检测机理的研究W.P.Kang等357

79．SnO2陶瓷酒敏气体传感器Kjy0shi Fukui，Koji Komatsu361

80．使用周期性温度变化的SnO2气体传感器选择性地检测CO气体N.Murakami等365

81．Ar+离子溅射对锡氧化物晶须气敏特性的影响Makoto Eagshira等369

82．SnO2/Pt薄膜CO气体传感器Duk-Dong Lee等374

83．PECVD SnOx薄膜气体灵敏度的研究Tang Shihao等378

FET气体传感器382

84．钯-银和钯-金合金作为MIS气体传感器的催化栅R.C.Hughes等382

85．用温扫增强催化栅MOSFET的选择性M.Armgarth等387

86．探测有机分子的高温扩展钯栅场效应晶体管的设计M.Esashi等391

87．带固体电解质的FET型氧传感器Yuji Mjyahara等394

88．几种MOS晶体管氨敏特性的研究K.Dopos,G.Zimmer398

89．二元MOS结构集成一氧化碳气体传感器Ding Xinfang399

氧传感器402

90．室温下工作的固态氧传感器的研究Norio Miora等402

91．酞菁铅选择性涂层对低温氧传感器的活化作用H.Mockert等407

92．电极对CeO2基固体电解质氧传感器响应的影响Hiromichi Arai等410

93．In2O3薄膜半导体臭氧气体传感器T.Takada,K.Komatsu414

94．λ-氧传感器K.Angata,H.Futate418

95．极限电流型氧传感器的湿敏特性Toshio Usui,Yoichi Kurumiya423

湿度传感器427

96．一种集成温度和湿度传感器Tatsuo Yamamoto等427

97．Pd-ZnO二极管湿度传感器Shigeyuki Tsurumi430

98．La2O3-TiO2-V2O5系多孔玻璃—陶器湿度传感器Yasuhiro Shimizu等434

99．季胺化4-乙烯吡啶—苯乙烯共聚物的高氯酸盐络合物湿度传感器材料Xin Yaoquan等439

100．利用Zr(HPO4)2·H2O及其有关化合物制造的湿度传感器Y.Sadaoka等444

101．有机硅化合物湿度传感器Y.Sakai等448

光导纤维传感器452

201．光纤传感器展望Brian Culshaw452

103．多元光波导传感器John F等462

104．一种光纤上的有源变换器M.A.EI-sherif等466

105．带径向极性调整压电氟塑料护套的电场敏感光导纤维M.Imai等470

106．具有双腔结构的光纤数字力敏传感器Masanori Watanabe等474

107．微机械扫描镜的光纤开关和多路传输K.Gustafsson,B.HOK478

色和光传感器481

108．具有本征滤色本领的硅光电二极管R.F.Wolffenbuttel481

109．一种新型非晶硅全色传感器Eumio Koike等486

110．一种基于集成硅热电堆的红外敏感阵列P.M.Sarro等490

111．新型光敏开关Zhu Changchun等495

非晶体及光传感器499

112．引人注目的敏感材料——非晶材料Kiyoshi Takahashi499

113．结构简单、性能优良的非晶薄膜功率传感器Setsuo Kodato等505

114．用超晶格结构膜制作的a-Si紫外线传感器S,Nakano等508

115．用离子簇射掺杂技术形成的重掺杂非晶硅n+层及其在pin型光电二极管中的应用A.Yoshida等513

核辐射传感器515

116．核辐射硅检测器Josef A.Kemmer515

117．碲化镉β射线探测器Morio Wada等522

118．金属／非晶硅多层膜X射线探测器Yujiro Naruse,Tamotsu Hatayama526

119．用于成象辐射的二维硅传感器S.A.Audet等531

120．具有集成耦合电容与多晶硅偏置电阻的硅微带检测器L.Evensen等535

红外及温度传感器539

121．光谱检测光导纤维温度传感器D.A.Christensen等539

122．用于10μm波段的碲镉汞混合线性红外电荷耦合器件Kunihiro Tanikawa等542

123．采用热电单晶LiTaO3的IR-CCD图象传感器Masanori Okuyama等546

124．石英振荡器应用于微型无电池膜盒遥测温度传感器K.Sakamoto等550

125．一种新型的热电器件Fan Liangzao,Wang Shuduo555

表面声波传感器558

126．具有再生试剂层选择性的表面声波苯乙烯蒸气传感器Edward T.Zellers等558

127．对高湿度敏感的表面声波谱peter H.Huang561

128．利用表面声波对聚合物与水界面的研究John G.Brace等566

129．声表面波微传感器Hank Wohitjen571

130．声波器件在液体传感中的应用S.J.Martin等579

131．传感用的硅声表面波物理电子系统A.Venema等584

132．超声波振荡器位置传感器R.M.White等589

离子敏传感器593

133．具有离子注入制备的离子敏感膜的ISFETTadashi lto等593

134．具有硅-绝缘体-硅结构的离子敏场效应晶体管Tadashi Sakai等597

135．ISFET传感器中电解液绝缘体界面的静态和动态模型peter R.Barabash等601

136．电量计式传感器Bart H.Van der Schoot等605

137．具有离子选择性膜片微型封装的硅化学传感器Heinz Blennemann等610

138．具有背面接触的pH-ISFET和集成pH压力传感器H.-H.Van den Vlekkert等613

139．固态化学传感器的阳极焊接玻璃封装H.-H.van den viekkert等617

140．在溅射的I？O2膜的pH测量中的不稳定性K.G.Kreider等621

141．利用在离子敏感场效应半导体电极上的中性物质减少干扰D.Jed Harrison等626

142．生物医学用Al2O3栅双ISFET/MOSFET传感器结构评价P.W.Cheung等630

143．SiO2/Al2O3 pH ISFET的基线漂移机理及其通过脉冲激励的某些改进H.C.G.Ligtenberg636

144．Al2O3层作为pH绝缘栅场效应管敏感材料的结构和漂移分析CH.Arnoux等642

145．平面ISE膜工艺的可能性Urs Oesch等646

146．一种新型的漆基体氯化物离子选择性场效应晶体管Shin-ichi Wakida等652

147．硝酸盐离子敏场效应晶体管Vtis Teravaninthorn等657

148．改进离子感膜特性以更好地适应固体／膜的界面D.jed Harrison等662

149．利用二氧化硅栅化学接枝制备ISFETP.ataillard等666

150．改进了ISFET聚合膜的物理特征和性能A.Van den Berg等670

生物传感器673

151．光学式生物传感器和化学传感器Masuo Aizawa等673

152．使用含有固定化金属（结合）酶的蛋白酶热敏电阻对流体系统中的二价铜离子进行生物传感Ikuo Saton等680

153．利用合成脂中相变动态特性的味觉传感系统Kiyoshi Toko等684

154．测定Sake中乙醇和葡萄糖的酶传感器Yoshiharu Tanake等688

155．用固定化抗体的硅片实现抗原电位式测定Eita Kinoshita等691

156．同时测定电流和电位的集成多功能生物传感器T.Murakami等695

157．以磷脂双层膜为基体的集成硅生物传感器Jose Joseph等700

158．生物医学应用的多功能腔型探头OttoJ.prohaska704

159．具有一个结型FET的高灵敏度生物传感器Teruaki Katsube等708

160．将镀铂作为一种新的转换器用于微型生物传感器Yoshihito lkariyama等712

生物医学应用715

161．用限流型氧传感器连续监测吸氧量K.sato等715

162．血液中pH值的连续监测Toshiyo Tamura等719

163．人体位置和压力分布传感器Chin-Lei Miao等724

164．活性神经传感器噪声性能的最佳化Vencent M.Mcneil等728

165．多通道内皮层记录微探针——定标限度、器件特性和电路封装Khalil Najafi等733

化学测量系统738

166．用于微型电流测定葡萄糖传感器的CMOS恒势器R.F.B.Turner738

167．利用与时间相关的化学传感器信号测定选择性G.Jordan Maclay742

168．伏安测量法——测定和控制薄膜型电极工艺的一种有效方法S.Gernet746

169．利用悬浮栅场效应晶体管测量阻抗Steven D.Caras749

触觉传感器753

170．硅集成传感器Kazuo Ayaki753

171．具有CMOS信号处理电路的高分辨率硅压力成象传感器Susumu Sugiyama等758

172．可组成多路信号传输触觉阵列的超小型荷重传感器Henry V.Allen等763

173．集成触觉成象传感器Paul P.L.Regtien767

磁传感器773

174．对曲面结边界下的双极磁传感器结构所进行的有限元分析M.G.Guvenc773

175．双极作用在磁晶体管中的数值模型Arokia Nathan等778

176．检测X、Y和Z磁场分量的集成磁传感器Kazusuke Maenaka等782

177．采用单个硅传感器同时测量极接近样品处的三维磁场S.Kordic等786

178．一种用无掩模离子注入技术制作的0.25μm霍尔传感器Toshihiko Kanayama等792

179．检测磁畴的半导体霍尔器件的位置敏感几何因子A.Nathan等796

180．集成霍尔器件中的非线性及其补偿R.S.Popovic799

181．用CMOS工艺制造的抑制侧壁注入式磁敏晶体管Lj.Ristic等804

182．二维电子气磁场传感器Yoshinobu Sugiyama等808

工艺技术813

183．采用丝网印刷和烧结工艺制成的物理量与化学量传感器Maria Prudenziati813

184．新的三维刻蚀技术及其在制造微探头传感器中的应用Shuichi Shoji等819

185．固体压力传感器的连接技术Thomas A,Knecht823

186．用于制作离子敏感场效应晶体管及相关电路的CMOS工艺Luc Bousse，John shott，J.D.MeindI828

187．用于制造传感器的高纯硅工艺W.R.Th.ten kate，S．A．Audet834

188．传感器研究战略Richard S,Muller839

189．新颖的电化学微机械加工及其在半导体集成加速度传感器中的应用Masashi NaKamura等846

190．形成硅膜片用的新颖四电极电化学刻蚀停止法B.Kloeck等850

191．各向异性硅刻蚀机理及其与微机械加工的关系H.Seidel854

192．（100）硅各向异性腐蚀中削角补偿的研究吴宪平 葛文勋860

193．用于制作小型固态压力传感器硅膜片的NH4F电化学蚀刻法Zhang Shengliang等864

应用868

194．反射式光敏传感器在电冰箱除霜检测器中的应用Kazuo Suzuki等868

195．用于汽车挡风玻璃刮雨器控制的光波导水汽检测器D.A.Christensen872

196．用于轮胎压力检测的硅单片开关系统StephenC.Terry等874

197．声化色彩鉴别系统及其对盲人训练的应用Hisao Kato等878