《第四届全国敏感元件与传感器学术会议论文集》求取 ⇩

一．大会报告1

1．航天遥测传感器技术发展概况宋宗炎1

2．微机械传感器的新进展鲍敏杭5

3．InSh薄膜磁敏元件规模生产中的问题于成民12

4．化学传感器当前面临问题及应用前景陈克铭16

二．力敏材料、元件及力学量传感器22

1．数字量传感器的原理与发展冯冠平22

2．多晶硅X型压力传感器田雷齐虹 李丹 李瑞 王善慈28

3．纳米硅薄膜的压阻效应及其应用于晓梅 何宇亮30

4．单晶金刚石薄膜外延生长研究陈庆贵 王其闵 史日华 董荣康32

5．用激光束成像法研究簧片式硅弹性膜的应变温明生 唐世洪 戴薇34

6．E型扩散硅力敏器件的设计与制作李妍君 乔文华 李天茂 吴丁民 季安 庞世信37

7．石英音叉压力敏感元件灵敏度提高的研究林江 赵宇 张滨华 薛宝东 陈罡 刘伟39

8．扩散硅压力传感器零位温度系数的双桥补偿法吴宪平 胡美凤 罗桂隆 龚凤英41

9．双岛结构扩散硅压力传感器的过压保护研究吴宪平 胡美凤43

10．扩散硅压力传感器规模生产中的有关问题庞世信45

11．采用硅-硼硅玻璃-金属复合结构的新型微压力传感器张滨华 林江 李忠晓48

12．一种高线性度SOI压力传感器芯片设计李金华 周倜 许龙金 陆德仁50

13．对称岛膜结构硅电容压力传感器的研究李听欣 鲍敏杭 朱海军 沈绍群52

14．口腔肌肉压力传感器研究谢会开 詹嘉乐 熊建军 刘理天54

15．多功能力敏器件庞世信 唐慧 徐淑霞 刘沁 吕忠刚56

16．压力传感器的低漂移化的研究唐慧58

17．提高应变式压力传感器精度的一些措施王若松60

18．20Kpa小量程厚膜压力传感器马以武 常慧敏 张绪萌 刘高升62

19．厚膜力传感器一体化补偿热敏桨料的研究刘高升 常慧敏 张绪萌 马以武64

20．厚膜压力传感器的集成化研究马以武 常慧敏 刘高升 张绪萌 戈瑜66

21．电动汽车用无刷电机位置传感器常耿 徐玉铮 付志斌 宋单68

22．静压、差压组合式传感器及系统的研制张声良 屈晓声 郝梅70

23．电感调频式荷重传感器王德盛73

24．三种结构的压阻式加速度传感器特性比较胡澄宇 陈宏 沈绍群 鲍敏杭75

25．微机械结构硅加速度传感器的空气阻尼陈宏 陶盛 鲍敏杭 沈绍群77

26．硅微加速度传感器过载能力的设计与测试陈宏 陶盛 沈绍群 鲍敏杭79

27．石英挠性加速度传感器的电激励建模钮永胜 郭振芹 段尚枢 周庆东81

28．消除横向效应的硅一体化加速度传感器的设计与制作周伟勤 金仲和 徐义刚 王跃林 胡鑫松83

29．新型后坐加速度开关阵列传感器李科杰 石庚辰85

30．高精度电容加速度检测仪设计杜玉峰87

31．微型电容加速度传感器的设计与研制马青华 陶盛 鲍敏杭 李昕欣 沈绍群89

32．新型簧片式硅加速度传感器的研制温明生 唐世洪 刘理天 谢会开 谭智敏91

33．压阻式双轴加速度计的研究李瑞 付敬奇 张军 林冬辉 胡凤霞94

34．气流式加速度传感器李邓化 陈占先96

35．棒状非接触直线大位移传感器生寿华99

36．悬桥式流量传感器响应时间和最小流量的检测陆德仁 熊斌 焦继伟 王渭源101

37．高灵敏管道外夹持超声流量传感器研究袁易全103

38．谐振式传感器的新进展刘广玉 樊尚春 魏鸿然105

39．低压高能型压敏电阻研制王克逸 季幼章109

40．谐振传感器的闭环振荡电路研究王亚强 金仲和 王跃林 徐义刚 丁纯111

41．电涡流效应的材质特性及其应用宋单 徐玉铮 常耿 彭承正113

42．掺Y3＋、La3＋的（Sr,Ca）TiO3系电容-压敏多功能陶瓷蔡赵辉 邹秦 孟中岩115

三．气敏材料、元件及气敏传感器117

1．气敏传感器发展现状与趋势沈瑜生117

2．一种新型的气敏传感器粘结浆料陶文成李同泉 张代瑛 苏功宗121

3．SnO2粒径与生长热力学研究王宗昌 张桂芳 郑子冀123

4．常压CVD法淀积薄膜Fe2O3气敏材料柴常春 仝刚125

5．SAW气体传感器中的电导变化效应分析戴恩光 冯冠平127

6．In2O3薄膜的AET作用及其对O3的敏感性研究牛文成 徐春林 张福海 祁增芳 张玉英130

7．a-Fe2O3系材料的微结构、催化性能与气敏特性张瑞芳 张天舒 沈渝生 刘杏芹132

8．一种新型胶体膜气敏元件张耀华 刘锦淮 唐红霖134

9．ZnSnO3气敏薄膜的制备与应用唐红霖 张耀华 祁志美 刘锦淮136

10．SbxSn1-xO2半导体的固溶与导电机制研究刘杏芹 朱海宁 沈瑜生138

11．SnO2敏感材料选择性研究王宗昌 张桂芳 郑子冀140

12．溶胶--凝胶SnO2气敏薄膜的特性研究祁志美 韩泾鸿 张耀华 唐红霖142

13．SnO2气敏元件热特性规律研究迟宗涛 孙光辉145

14．V、P对SnO2电学行为的影响研究邓希敏 郭进 黄津梨147

15．SnO2超微粒薄膜气敏选择性研究候后琴 丁召 罗昌新 连红148

16．Pd在SnO2薄膜上的淀积、扩散及对气敏性能的影响曾宇平 张天舒 沈瑜生151

17．混合电势型CO传感器研究王鹏 吴驰明 孙成文 杨芝洲153

18．YSZ/Pt电极检测空气中的CO浓度孙成文 王鹏 王梅东 杨芝洲155

19．SPE--氧化碳传感器的响应时间严河清 陆君涛 王鄂凤157

20．用半导体传感器阵列对酒类鉴别的研究梁坚 沈悦 辛德瑗 陆毅新 胡真159

21．粉末溅射平面薄膜型酒敏传感器李蕾 刘文利 李建明 裘南畹161

22．新型电化学式H2S气体传感器的研制祁欣163

23．一种具有极高灵敏度的H2S气敏元件全宝富 孙良彦 张彤165

24．厚膜型甲烷气体敏感元件李先全 黄元龙 罗凤兰167

25．智能型甲烷测定仪王剑钢 李宝华 孙良彦169

26．味觉电化学传感器的研究金利通 毛煜 赖宗声 胡健171

27．新型嗅觉传感器与气味识别王平 李蓉 陈裕泉173

28．新型组合式气敏元件的研制付蔷 黎丽琳 才春莉176

29．电化学气体传感器应用初探黎丽琳 李淑霞 张亚力178

30．聚邻甲苯胺的合成和氨敏特性吴家琨 董志武 韩晶波 胡志江180

31．低浓度氨敏元件的研制李淑霞 才春莉182

32．实现快速重复测量微分输出式氯气传感器李听欣 郎海宁185

33．气敏元件瞬态特性计算辅助测试系统设计刘笃仁 彭军187

34．气体监测系统中气敏信号的远距离采集与传输顾文照189

四．微机械加工及微电子机械系统193

1．微电子机械系统王渭源193

2．感应电悬浮原理及实验何国鸿陈抗生 谭淞生 王渭源197

3．静电梳谐振子动力学模型研究分析李碧洲 李平梁 赖宗声 王添平 刘芳 陆德仁199

4．电热致动体硅微流体泵战长青 刘理天 钱佩信201

5．硅台阶无掩膜腐蚀技术与对称梁岛结构的研制李听欣 鲍敏杭 马青华 陶盛203

6．低应力薄膜工艺技术的研究邹泉波 刘理天 李志坚205

7．多孔硅作为牺牲层材料的研究及其应用王新君 吴光励 王云珍 赖宗声207

8．用电化学方法腐蚀C型硅杯徐淑霞 张纯 庞世信 唐慧209

9．数片硅同时自停止腐蚀技术研究徐义刚 周伟勤 王跃林 丁纯 金仲和211

10．硅台面结构凸角腐蚀原因探析黄庆安 秦明 向涛 张会珍213

11．直梁在静电作用下的横向弯曲行为的研究邹泉波 刘理天 李志坚215

12．微传感器技术中的悬隔膜郑养术217

13．单晶硅微悬臂梁的疲劳特性测试叶雄英 张靖海 周兆英 李勇220

14．常温静电封接技术的研究与实验尝试孔德义 余兵 梅涛 虞承端222

15．反应离子刻蚀修正薄膜铂厚度戈肖鸿 陈芬扣 朱建生 王渭源225

16．利用反应离子刻蚀技术形成磁敏器件的场发射阵列（FEA）电子源刘新福 徐静芳 李琼 宋海波227

17．溅射沉积NiTi形状记忆合金薄膜的晶化行为研究王效东 陈红 王渭源 李戈扬229

18．原子力显微镜（AFM）的力传感器薛实福 刘永生 李庆祥 高宏 徐毓娴 于水231

19．侧向驱动的静电多晶硅谐振器王添平 解健芳 刘芳 陆德仁 王渭源 李碧洲 赖宗声234

20．LIGA技术中的X射线掩膜梁静秋 王飞 王志勤 姚劲松 宣明236

21．微机械结构型薄膜微电极电化学器件的稳定性研究周仲柏 吴清海 刘炯权238

22．微机械方法制作热导式湿度传感器的研究丁青 武蕴忠 张华240

23．用微机械加工技术制备微型Clark型氧传感器朱建中 蒋惠英 陆德仁242

五．离子敏及生物传感器244

1．生物传感技术的发展动向黎高翔244

2．传感技术与三M技术任恕吴蒙248

3．芳香族聚脲的膜厚方向压电共振王贤珊 深田荣一250

4．分子传感器敏感材料的研究--液晶冠醚吴蒙 任恕252

5．无试剂型乙醇脱氢酶电极的研制张维成 尚艳娥 何亚明254

6．LB膜与涂敷膜卵磷脂叉指电极的比较孙安纳 崔莉 海秀兰256

7．次氯酸根离子选择电极的研制吕鸣祥 陈建和258

8．微电极对EC过程后续均相反应盲视性能的研究朱俊华 刘晓辉 陆新根 林心如260

9．电极流动注射法在照相乳化过程中的研究杨林楚 徐秀珍 邹景瑶263

10．新型微流通池PH-ISFET集成传感器丁辛芳 牛蒙年 向涛 林崴265

11．用于在线检测的光纤PH传感器及其检测系统任麒 黄颂羽 王美俊268

12．表面光电压技术（SPV）检测溶液的PH值陈德勇 韩泾鸿270

13．半导体生物酶场效应晶体管李和太 杜萍 崔志武272

14．半导体生物酶传感器的研制李和太 杜萍 崔志武274

15．一种可实用化的中医PH传感针的性能研究江琦 沈安华 胡永熙 任恕276

16．光纤荧光钾、乙酰胆碱微型传感器的初步研究徐俊 任恕278

17．一种可实用化的中医氧分压传感针的研制沈安华 胡永熙 江琦 任恕280

18．中医传感针型组织传感器的研制及应用林志红 邹立君 任恕282

19．用酶抗体修饰电极检验C2型葡萄球菌肠毒素的研究黄振才 曲丽云 吕鸣祥 董飒英284

20．硼掺杂多晶金刚石薄膜在电化学传感器中的应用朱建中 蒋惠英 王建新 毛敏耀 章熙康286

21．大规模细胞培养监测系统的构建阮复昌 公国庆 莫炳禄 李向明288

22．基于状态观与系统论的生物医学传感技术的研究胡永熙 任恕 沈安华 江琦290

23．BOD微生物传感器及其智能化测定仪的研制孟绍田 袁纪连 李子明 薛勇292

24．测定营养物质的新型生物传感器的研究储炬 俞俊棠295

25．L-乳酸生物传感器的研制王辉 秦文华 刘海喜 余善法 任恕297

26．固态生物传感器在线检测系统的研制韩泾鸿 崔大付 李亚亭 蔡金娥 蔡新霞 张虹 余浩299

27．DNA光纤生物传感器袁津玮 周宜开 郝巧玲 任恕301

28．液体介质石英晶体谐振传感器张超 冯冠平 隋森芳303

六．湿敏材料、元件及湿度传感器307

1．国外湿度传感器发展动态孙良彦307

2．采用等离子体接枝技术制备湿敏元件王佳宇辛耀权 闫大卫 陈丽华 孙良彦312

3．聚酰亚胺感湿材料的研制王绍鸿 杨大本 林建明314

4．新型高稳定性高分子湿敏材料的合成王佳宇 辛耀权 闫大卫 陈丽华 孙良彦316

5．湿敏材料羟基磷灰石的合成蔡可芬 庄牧林318

6．AM-S电阻式湿敏元件的表面修饰张彤 孙良彦 邱法斌 车吉泰320

7．开关式、结露控制型湿敏元件研究邱法斌 孙良彦 平田光寿322

8．SCA-2型湿度传感器原理吕秋霞 修德斌 齐红324

9．高分子膜温湿敏器件新结构研究王年元 王长青326

10．金红石型多孔陶瓷湿度传器稳定性的探讨曲宝函 丁鲁军 周革非 姜瑞敏328

11．TiO2系多孔湿敏陶瓷感湿机理的复阻抗分析曲宝函 王者和 孙红月 蒋永超 丁鲁军330

12．‘氧化还原对’表面掺杂对陶瓷湿敏元件稳定性的影响张洪泉 张淑兰332

13．Fe2O3-K2O-Al2O3开关湿敏材料研究武明堂 周有 方湘怡 唐勤334

14．容量型湿敏元件稳定性探讨周明军 张彤 关桂芳 卢崇考336

15．PI型高温湿敏电容周明军 张彤338

16．粮食水分测控系统李廷禄 李延源340

17．新型湿度变送器焦红志 遇程伟342

七．温敏元件及温度传感器344

1．国外传感技术发展动向虞承端344

2．软基底薄膜热敏电阻设计孙承松李云鹏 周立军348

3．PTC热敏电阻限流元件的研制杨荣升350

4．高密度聚乙烯／碳黑复合材料PTC热敏特性研究王玲玲 王利臣 胡刚 刘波勇 周志刚354

5．NTC热敏电阻的激光调阻技术朱建生356

6．厚膜CTR的研究郝永德 林洪 陈卢金358

7．贱金属镍浆料及其在厚膜型传感器中的应用赵光明 黄元龙361

8．新型高精度光纤温度传感系统的实用化研究金晓丹 廖延彪 赖淑蓉363

9．扩散硅压力传感器温度补偿用交叉布线厚膜温度网络器件陈卢金 林洪 郝永德365

10．铠装热敏电缆用绝缘热敏材料的选择张忠模 雷霆 刘碧君 何明368

11．参数可变多功能集成温度传感器邵志标 候新科 岑元飞370

12．温度形状记忆传感器李丹之 劳风英 蒋燕萍372

13．快速温度传感器及其智能化测控仪的研制孟绍田 袁纪连 薛勇374

14．有源R型温度／频率转换电路接口设计夏哲雷 栗金红376

八．磁敏元件及磁传感器378

1．高灵敏度霍尔元件用InSb薄膜制备工艺于成民刘佩瑶 冯桂华 孙仁淘 王晓雯378

2．共晶型In-InSb磁敏薄膜的生长和特性研究黄钊洪380

3．磁阻（MR）薄膜传感元件中磁畴结构的变化过程宋柏泉 周勇 徐东 余晋岳382

4．霍尔功率传感器倪忠群384

5．高精度反馈式霍尔电流传感器栾海林386

6．硅霍尔传感器的可靠性增长模型与加速试验法的研究王幼学 秦永列 谢华钧 于恩涛388

7．硅霍尔传感器失效机理及失效率模型的研究王幼学 谢华钧 秦永列 于恩涛391

8．带通用接口的磁敏传感器郭志友 李颖394

9．霍尔电磁隔离放大器邹高芝396

九．光敏元件及光传感器399

1．光纤传感器在航空中最新应用周浩敏 刘广玉399

2．非晶硅线性图象探测器的研究郑怀德 廖显伯 刁宏伟405

3．γ辐射损伤与硅光电二极管结构的关系陈炳若 李世清 唐承欢 向梅芝 尹德强407

4．内调制光敏管和微光仪的研制张钢 何民才 戴锋 黄启俊409

5．红外光学远距火灾传感器陈学江 田恒贵 唐占齐411

6．多传感信息溶合的模糊处理及集成化研究胡健 赖宗声 王成道413

7．超导红外探测器中降低温漂噪声的结构设计研究陈红 王渭源 王德宁415

8．干涉型光纤传感器PGC调制--解调技术的研究周效东 张宇 汤伟中 杜春仁417

9．一种消除光源及磁光材料影响的光学电流传感器易本顺 刘延冰419

10．紫外敏感光纤的研究李林423

11．用SPR法测量LB膜的厚度赵杰 李建平 韩泾鸿 崔大付425

十．应用427

1．An Overview for Commercialization of Micromachined TransducersMichael Young Maw-Rong chin427

2．从汽车防撞气袋的开发看传感技术研究和应用范良藻432

3．新型传感器动态性能及其改进研究黄俊钦436

4．感应电悬浮微机械在加速度传感器中的应用何国鸿陈抗生 谭淞生 王渭源438

5．用高分子湿敏电容测量有机溶剂的微量水份章佩娴 牟建群 姚杰440

6．高抗爆军用水深变送器吴宪平 胡美凤 罗桂隆 龚凤英442

7．新型流体脉动传感器及其应用常耿 徐玉铮 付志斌 彭承正444

8．传感技术在诊断心脏疾病时的应用潘家城 窦素琴446

9．用微型葡萄糖传感器测定血清中葡萄糖的含量朱建中 蒋惠英 吴佳俐 陆德仁 张国雄447

10．库仑型传感器--执行器系统用于缓冲容量的直接测定罗江 任恕449

11．电涡流传感器在汽轮机组差胀监测中的应用傅尚新 徐玉铮451

12．组合机床钻削加工刀具状态监控研究张军 孙宝元453

13．谐振筒式BGJ型精密高度表的研制陈学江 田恒贵 唐占齐455

14．单片机在综合罗盘航向数字显示系统中的应用陈学江 徐惠敏 田恒贵 唐占齐457

15．去偏振干涉型光纤干涉仪周效东 汤伟中 周文459

16．压力传感器在油罐计量中的应用乔宏 唐伟 赵洪亮 高克山 唐欣 徐广忠461

17．BX-2便携数字压力校验仪的研制文晖 徐广忠467

18．霍尔元件在钳形万用表上的应用冯桂华 李鸿儒 于成民470

19．NT873吹气式耐腐蚀液位变送器乔宏 唐伟 吴贞培 宁如龙472

20．高分辨率钢弦式测量仪器系统邓铁六 马俊亭 王学水474

21．地下金属管线探测仪器的研制王君 刘希芳477

22．钢材裂纹磁检测的定量分析张政保 徐章遂 马爱文479

23．硅片表面平整度和薄膜应力的计算机辅助测量装置陆德仁 朱文玉 荣刚 李宝清 王渭源481

24．测力平台中传感器新的配置原则钱敏 孙宝元483

25．一种新型径向测力轴承传感器的研制孙宝元 钱敏 张军485

26．新型悬臂梁绝对高真空压力规的设计朱长纯 Willianm N.Carr 王海笑487

27．在火炮复进机气液量检测中提高压力传感器检测精度的措施赵圣元489

28．光尺和电尺组成的二维尺寸测量系统岑文远493

29．半导体热敏电阻在对数放大器中的应用杨成刚495

30．静重式群控测力机测量与控制系统的研究张卫499

31．敏感元件及传感器可靠性数据的微机处理技术吴虹 候玉华502

32．贯彻执行JJG669-90《称重传感器计量规程》中的几个问题探讨马洪发 苏原505

33．传感器可靠性试验方法及其发展探讨于恩涛508