《功能薄膜及其沉积制备技术》高清PDF
作者: 戴达煌,代明江,侯惠君编著
出版: 北京:冶金工业出版社
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出版时间: 2013.01 (求助前请核对清楚)
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本书较全面地叙述了功能薄膜及其沉积制备技术。结合功能薄膜的特点和工程应用与发展实际,概要地讲述了薄膜的含义、特征和分类及功能薄膜设计的原则;重点讲述了气相沉积、三束材料表面改性、复合处理等先进功能薄膜沉积制备方法、原理、工艺特点及适用的领域;在装饰与机械功能薄膜中,讲述了主要膜系、膜层的设计原则,并分别列举了装饰与机械功能膜的典型应用及发展趋势;在物理和特殊功能薄膜中,讲述……
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