本书系统研究了直流热阴极辉光等离子体辅助化学气象沉积金刚石膜的过程中，温度、压强、甲烷氢气流量比等实验参数对金刚石膜形貌、晶体结构和质量的影响；以甲烷、氢气为工作气体，研究低温低压下纳米金刚石膜的制备；探索向甲烷、氢气气氛中通入不同流量的三聚氰胺、氮气、氨气对沉积金刚石膜的表面形貌、结构、晶面取向及导电性能的影响，并以三聚氰胺为氮掺杂源，通过改变氩气氢气流量比制备高导电的纳米金刚石膜。本书可供从事金刚石膜制备的学者和其他从事材料研究的技术人员阅读，也可作为相关专业的高等院校本科生、研究生使用和参考。

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