硬质薄膜一直以来是表面科学领域和材料学领域研究的热点问题，本书介绍了钛硼碳氮系多元硬质薄膜的发展及研究现状，重点阐述了作者在硼碳氮、钛硼氮和钛硼碳氮系列薄膜制备、结构和性能方面的研究成果。本书介绍了通过非平衡磁控溅射方法沉积的钛硼碳氮系列薄膜，并系统地研究了不同条件沉积的薄膜的成分、键结构、纳米力学性能和纳米摩擦磨损行为。通过研究得出了不同制备工艺参数对该系列薄膜结构和性能的影响规律。书中获得的研究结论对于其他硬质薄膜的研究具有重要的借鉴作用。

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