本书包括以下主要内容：导论；薄膜制备的物理方法；第一章薄膜制备的化学方法；第二章薄膜技术应用；第三章薄膜的装置；第四章薄膜的形成、结构与缺陷；第五章特殊薄膜材料等。

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