本书由薄膜制备技术、薄膜检测技术和典型薄膜材料及其应用3部分构成,系统介绍了现代薄膜技术中涉及到的真空的获得和测量方法、薄膜制备技术中重要的物理和化学方法、薄膜材料常用的结构分析和性能测试方法,全面阐述了典型薄膜材料的制备、结构、性能和应用。

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