本书针对ZnO材料的发展趋势及应用背景,深入系统介绍了ZnO薄膜材料的本征特性及其掺杂机理,涉及了一些最新的制备技术,包括有溅射法、脉冲激光沉积(PLD)、原子层外延(ALE)、金属有机物汽相外延(MOCVD)、分子束外延(MBE)等。

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