《集成电路工艺实验》高清PDF
作者: 谭永胜,方泽波主编
出版: 成都:电子科技大学出版社
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出版时间: 2015.04 (求助前请核对清楚)
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集成电路工艺实验是为微电子科学与工程专业本科生设置的一门专业实验课,目的是让该专业的学生了解和掌握半导体集成电路的工艺技术,使学生具有制造半导体集成电路的实际动手能力,为今后集成电路芯片及半导体分立器件的研究、设计与制造工作打下基础。
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