《非硅MEMS技术及其应用》高清PDF
作者: 陈文元,张卫平,陈迪著
出版: 上海:上海交通大学出版社
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出版时间: 2015.03 (求助前请核对清楚)
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MEMS技术是二十世纪九十年代由IC技术发展而来,二十一世纪得到迅猛发展的一项高新技术,它集微传感器、微执行器、控制电路于一体,涉及机、电、光、信息、微制造、材料等多学科交叉,可广泛应用于信息、生物、汽车、医疗、国防等领域。非硅MEMS技术是在硅MEMS技术基础上发展起来的,又与硅MEMS技术互为补充。作者及其团队长期从事非硅MEMS技术的研究。根据多年的研究,在书中作者详细地叙述了非硅MEMS技术的特点,非硅材料,三维非硅微加工新技术,新型非硅微传感器……
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