《集成电路制造技术原理与工艺》高清PDF
作者:王蔚,田丽,任明远编著;刘晓为主审
出版:北京:电子工业
页数:356 ✅ 真实服务 非骗流量 ❤️
出版时间:2013.07 (求助前请核对清楚)
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本书共分5个单元,第一单元,主要介绍单晶硅衬底结构特点,体硅和外延硅片的制造方法;第二单元~第五单元,主要介绍硅芯片制造基本单项工艺(氧化、掺杂、薄膜制备、光刻、工艺集成与封装测试)的原理、方法、设备,以及依托的技术基础和发展趋势。每单元后都有习题。另外,还在附录中以双极性晶体管制作为例介绍微?
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