本书是《真空科学技术丛书》之一。本书全面系统地介绍了超高真空泵、超高真空测量、超高真空用法兰、阀门、冷阱、选用材料、超高真空器件、超高真空系统以及超高真空系统检漏、运行维护等内容，是从事超高真空技术科技人员必备的工具书，供广大科技工作者及工艺人员所使用。

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