《真空科学与技术丛书 真空镀膜》高清PDF
作者:李云奇编著
出版:北京:化学工业出版社
页数:310 ✅ 真实服务 非骗流量 ❤️
出版时间:2012.08 (求助前请核对清楚)
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本书共十一章,内容包涵了真空镀膜中物理基础,各种蒸发源与溅射靶的设计、特点、使用要求,各种真空镀膜方法以及薄膜的测量与监控,真空镀膜工艺对环境的要求等。
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