《微机电系统(MEMS)制造技术》高清PDF
作者:苑伟政,乔大勇著
出版:北京:科学出版社
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出版时间:2014.03 (求助前请核对清楚)
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微机电系统技术是一门融合了微电子技术、微机械加工技术、微光学等多种现代信息技术的新兴、交叉学科,它的发展将对21世纪的人类生产和生活方式产生重要影响,并在未来高科技竞争中起到举足轻重的作用。本专著是作者十余年来深入到实验室工艺线积累的大量工艺经验的总结,并融合了微机电系统领域最新的研究成果,系统,全面,深入浅出地讲授微制造工艺中涉及到的材料、环境、设备和测试等方面内容。
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