正是因为ESD技术存在于从微电子到纳米电子,所以ESD会影响半导体制造、半导体器件、电子系统等电子产业链的整个链条上任意一个环节。本书的内容涉及到ESD的基础,EOS、EMI、EMC以及Latchup等内容,为读者提供了一个ESD技术的全景视角——从半导体制造一直到电子系统的集成。通过一些特定技术,电路和芯片的案例启发读者对于ESD相关技术的脉络有一个整体的认识。本书覆盖的内容有:静电学基础,包括摩擦起电,以及它们是如何和日常的微电子设置纳米级半导体制造环境相关的。如何处理和检查半导体制造中工艺中的静电防

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