本书作者在综合分析总结MEMS微型振动能量收集器技术的国内外研究现状与发展趋势的基础上,结合作者多年来微型能量收集器技术研究工作成果及经验,重点介绍基于环境动能能量获取与转换的微能源器件与系统的机理、结构、设计理论与方法、功能薄膜的制备与三维微加工工艺的兼容制造工艺方法和性能测试方法,主要包括微型压电振动能量收集器、微型电磁振动能量收集器、流体诱导振动能量收集器、能量收集器低功耗电源管理技术;探索MEMS微能源系统集成与应用技术;分析目前仍然存在的主要科学与技术问题,以及可望解决的技术途径。

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