《电子束曝光微纳加工技术》高清PDF
作者:顾文琪主编;顾文琪,王理明,薛虹,方光荣,张福安,刘祖京,黄经筒,杨忠山著
出版:北京:北京工业大学出版社
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出版时间:2004.07 (求助前请核对清楚)
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电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著:本书系统的介绍了电子束曝光技术的发展历史和原理、系统的组成和分类、应用和发展前景,同时详细介绍了多种先进的电子束曝光机的性能和技术指标。
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