《国内外半导体材料标准汇编》高清PDF
作者:屠海令主编;《国内外半导体材料标准汇编》编委会编
出版:北京:中国标准出版社
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出版时间:2004.03 (求助前请核对清楚)
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本书全面、详实地收录了基础标准、产品标准、方法标准几方面我国半导体材料的国家标准,并翻译汇集了国际SEMI标准组织关于半导体材料的标准。
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