《表1 氯硅烷罐区常规设计储罐配置表》

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《多晶硅氯硅烷罐区的优化设计》

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在多晶硅氯硅烷罐区常规设计中，通常按照物料种类及特性、精馏塔类别和分析检测过程等进行储罐配置。冷氢化装置、还原尾气干法回收装置和还原厂房均需配备原料罐或产品罐。精馏装置为各装置提供原料或产品，且多晶硅纯度和精度的高要求，导致精馏装置流程复杂、塔组种类多，主要包含处理冷氢化料的氢化初分塔、粗馏塔、精馏塔，处理还原尾气干法回收的干法精馏塔，处理其余塔高低沸的回收塔，处理氢化二氯二氢硅和干法塔二氯二氢硅的反歧化塔等塔组。为保证多晶硅品质，精馏装置每组塔产品均进入罐区，待检测合格后方可进入下一级塔组或下一装置，故每种塔组均设置原料罐和产品罐等，氯硅烷罐区至少需要配置14种储罐，涉及的储罐种类见表1。