《表5 采用不同氧化工艺制备的6组太阳电池的电性能参数》

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《PERC太阳电池发射极表面优化设计与模拟》

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取1200片相同的实验硅片，经过制绒、C组扩散工艺进行扩散、二次刻蚀、激光选择性掺杂后，分成D、E、F、G、H、I共6组样品，每组200片。热氧化设备为湖南红太阳光电科技有限公司的五管氧化炉，温度参数如图7所示。调整6组硅片的热氧化工艺，D组为不经过热氧化处理，仅在氧化炉中放置40 min；E组为常压热氧化，压强为1000 mbar；F、G、H、I皆为低压热氧化，压强分别为600、400、200、50 mbar。为保证实验数据的可靠性，每组实验中均使用同一热氧化炉管和石英载舟，且后续制备电池流程中的工艺条件、设备和测试条件均相同。表5为采用不同氧化工艺制备的6组太阳电池的电性能参数。