《表3 不同载荷下的位移响应》

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《基于浮动定子的超高加速度宏微运动平台设计及隔振分析》

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为了验证带有浮动定子系统超高加速度宏微运动平台的振动阻尼和抑制效果，基座和地面之间的连接相当于弹簧阻尼系统。同样，浮动定子系统被认为是一个弹簧阻尼系统，安装固定在底座上的定子和底座之间，如图5所示。在ANSYS15中搭建浮动定子系统的有限元模型，定子、基座和地面由MASS21构成三个质量节点。上述弹簧阻尼系统采用COMBIN14制成弹簧元件和阻尼元件。定子上有一个瞬态激振力信号。该宏微运动平台动力学参数参考值如表1所示，通过仿真计算浮动定子系统的瞬态动态响应，如图6所示。有限元模拟结果表明，基座的位移振动相对于音圈电机位移振动明显减小。随着激振力值增加，浮动定子和基座响应也相应增加，对于较大的力，浮动定子的抑制作用效果也较明显，如表3所示，这表明浮动定子系统可以实现减振和抑制效果。