《表2 不同混合比例下CF3I/CO2混合气体的临界电子能量值》

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《基于Boltzmann方程的CF_3I二元混合气体替代SF_6的可行性研究》

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（单位:e V）

对比图2、图4可知，在CF3I气体中加入CO2后，其电子能量的变化情况与加入N2后的情况相同，但加入N2比加入CO2对降低CF3I气体电子能量的效果更强，其混合气体中的低能电子数量更多。不同气体混合比例下CF3I/CO2混合气体的EEDF临界电子能量值计算结果如表2所示。