《表1 不同混合比例下CF3I/N2混合气体的临界电子能量值》

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《基于Boltzmann方程的CF_3I二元混合气体替代SF_6的可行性研究》

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（单位:eV）

对比图2、图3可知，在CF3I气体中加入N2时，其电子能量分布曲线在电子能量为0～5 eV时出现骤降的情况，这主要是由于N2分子的振动激发碰撞截面大多集中在1.6～3.5 eV且数值较大，在该电子能量范围内的电子会与N2分子发生较高频率的振动激发碰撞，而碰撞后将会损失掉部分的电子能量，导致曲线骤降情况的出现。此外，在CF3I气体中加入N2后，电子能量小于2 eV的低能电子数量有所增加，且该气体混合比例下的临界电子能量值（各约化电场强度下电子能量分布曲线与X轴的交点对应的电子能量值）也有所升高，因此在CF3I气体中加入N2会使高能电子的数量有所增加，而处于中间能量值的电子数量相应地有所减少。结合其他混合比例实验结果表明，随着CF3I气体中加入N2的摩尔分数逐渐升高，其输出的能量分布曲线与90%CF3I/10%N2混合气体的电子能量分布曲线变化趋势相同，不同气体混合比例下CF3I/N2混合气体的EEDF临界电子能量值计算结果如表1所示。从表1可以看出，当CF3I的摩尔分数低于30%时，CF3I/N2混合气体的临界电子能量值较大，表明CF3I/N2混合气体中高能电子数量较多，此时CF3I/N2混合气体对电子的绝缘吸附效果可能就达不到纯SF6气体对电子的绝缘吸附效果，这与文献[20]的实验结果基本一致。