《表1 相关材料的热物理参数》

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《薄膜残余应力和表面杂质对变形镜疲劳寿命的影响》

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文中以68单元变形镜为例进行研究，其基本结构如图2所示。变形镜镀有膜系为Sub/H（LH）11/Air（Sub为Si，H为ZnS，L为YbF3）的高反膜，基底与极头的材料为Si。变形镜尺寸为80 mm×80 mm，基底厚度为2 mm，极头半径为3.5 mm，极头长度为10 mm。表面杂质以Al2O3[12]杂质小球模型为例，假设其附着在变形镜的表面。相关材料的热物理参数[13-14]如表1所示。