《表2 各种工艺参数结合引导词可能产生的失误模式》
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《HAZOP在集成电路制造工艺过程安全风险评估中的应用》
（2） 根据分开的节点，采用HAZOP的引导词（见表1）与生产参数结合来假定可能发生的偏差，在偏差的基础上分析可能造成失误的模式，见表2。
| 图表编号 | XD00877100 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2018.06.01 |
| 作者 | 成晓栋 |
| 绘制单位 | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
