《表5 检出限及精密度数据》

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《微波消解-电感耦合等离子体质谱法测定高纯氟化镁中12种杂质元素》

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依次测定系列标准溶液，并绘制工作曲线。12种杂质元素的检出限在0.01～0.20 ng/m L范围内。10 ng/m L的混合标准溶液平行7次进样，其相对标准偏差（RSD）均小于5%，结果见表5。